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氮化层边界防剥落槽结构设计方案

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氮化层边界防剥落槽结构设计方案

为深入贯彻落实《关于推动先进制造业高质量发展的指导意见》（国发〔2023〕15号）和《新材料产业发展指南》（工信部联材〔2022〕238号）中关于提升关键材料性能与可靠性的战略部署。同时，结合当前半导体制造、精密仪器等领域对氮化层边界防剥落性能的迫切需求，以及现有氮化层结构在实际应用中暴露出的边界结合力不足、服役环境适应性差等突出问题，特针对氮化层边界防剥落槽结构优化设计问题制定本方案。方案执行周期为2024年1月至2024年12月，适用范围覆盖半导体晶圆制造、光学元件加工、耐磨涂