GB-T 11446.7-2024 中文版 电子级水 氯硅硼测定方法.docxVIP

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GB/T11446.7-2024中文版电子级水氯硅硼测定方法

免责声明：本文为电子工业纯水与洁净厂房领域的工程技术资料，依据公开技术资料、通用工程实践与设备选型经验整理编写，供设计、施工、监理及运行管理人员作技术参考。文中所列水质指标、工艺参数、计算公式、材料性能与配置方案均对应特定边界条件，不构成对任何具体项目的设计结论。标准编号、版本状态与条文内容应以国家正式发布的标准文本为准，工程设计文件尚须经具备相应资质的设计单位校审并由注册工程师签章后方可实施。使用者应结合原水全分析报告、工艺用水清单、设备制造商技术文件及项目所在地法规要求独立核定；因直接套用本文内容导致的工程偏差、经济损失或第三方索赔，本文编写方不承担相应责任。

1适用范围与痕量测定的边界

1.1目标组分与浓度量级

电子级水中氯离子、硅与硼三类组分的测定，目标浓度落在μg/L及亚μg/L量级。按电子级水EW-I的公开分级基准，氯离子不大于0.5μg/L；全硅不大于2μg/L；硼在分级表中未列项，先进制程内控常取0.05至0.1μg/L。这意味着分析方法的检出限必须比限值低一个量级左右，否则读数将集中在检出限附近，无法分辨合格与临界。三类组分的化学性质差异很大：氯离子是强解离阴离子，硅以弱酸与胶体两种形态存在，硼在中性条件下几乎以中性硼酸分子存在，因此不能共用一套