YST 1780-2025 氧化铟镓锌靶材 标准立项发展报告.docxVIP

氧化铟镓锌靶材标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:IndiumGalliumZincOxideTargets

摘要

随着新型显示技术和薄膜晶体管（TFT）产业的快速发展，氧化铟镓锌（IGZO）靶材作为制备IGZO半导体薄膜的核心原材料，其质量与性能直接决定了溅射薄膜的电学特性和器件可靠性。当前，国内IGZO靶材产业在化学成分控制、微观结构调控、致密度提升及批次稳定性等方面仍缺乏统一的技术规范，制约了上下游产业链的协同发展。本标准（YS/T1780-2025《氧化铟镓锌靶材》）立足于国内生产实际与下游应用需求，系统规定了氧化铟镓锌靶材的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等内容，涵盖化学成分、物相组成、相对密度、电阻率、尺寸精度及表面质量等关键指标。标准的制定与实施将有效规范市场秩序，提升产品质量一致性，促进IGZO靶材在高端显示领域的规模化应用，为我国有色金属新材料标准化体系的完善提供有力支撑。

关键词：氧化铟镓锌靶材；IGZO；溅射靶材；薄膜晶体管；标准立项；有色金属标准

Keywords:IndiumGalliumZincOxideTarget;IGZO;SputteringTarget;ThinFilmTransistor;StandardDevelopment;No