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- 2026-11-08 发布于重庆
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(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN119324167A
(43)申请公布日2025.01.17
(21)申请号202411424733.8
(22)申请日2024.10.12
(71)申请人沛顿科技（深圳）有限公司
地址518000广东省深圳市福田区彩田路
7006号
(72)发明人黎平陈一东
(74)专利代理机构广东普润知识产权代理有限
公司44804
专利代理师寇闯
(51)Int.Cl.
H01L21/67(2006.01)
权利要求书2页说明书4页附图1页
(54)发明名称
一种高效的晶圆加工系统及方法
(57)摘要
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