高端半导体EPC项目电力系统建设的实践分享版.docx

高端半导体EPC项目电力系统建设的实践分享

——杭州JH半导体电力系统实施介绍

摘要：本文介绍了基于12吋半导体晶圆厂EPC总承包项目的高端半导体电力系统建设实践。系统以220kV市电为源头，经20kV中压配电、动态不间断电源（DUPS）、柴油发电机、静态UPS及末端DC-BANK构建多级冗余防护体系，保障核心生产工艺连续性与生命安全负荷可靠性。重点阐述了系统架构冗余逻辑、保护与控制协同原理及联合调试经验，并总结了关键施工技术与质量控制要点，可为同类项目提供工程参考。

关键词：20kV中压系统；动态不间断电源（DUPS）；冗余供电架构；半导体晶圆厂；铜铝合金母线

中图分类号：TU852

Abstract:BasedonanEPCgeneralcontractingprojectofa12-inchsemiconductorwaferfab,thispaperprovidesacomprehensiveaccountofthefull-processtechnicalpracticeofitsmedium-voltagepowersupplyanddistributionsystem,coveringtop-leveldesign,equipmentselection,andsystemjointco