CN119352150A 氯硅比分区域可控的碳化硅外延生长方法及碳化硅外延片 （河北普兴电子科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119352150A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411436951.3

(22)申请日2024.10.15

(71)申请人河北普兴电子科技股份有限公司

地址050200河北省石家庄市鹿泉经济开

发区昌盛大街21号

(72)发明人张永强尹志鹏尹浩田李晨阳

杨龙薛宏伟

(74)专利代理机构石家庄国为知识产权事务所

13120

专利代理师苏晓丽

(51)Int.Cl.

C30B25/18(2006.01)

C30B29/36(2006.01)

C30B25/16(2006.01)