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半导体材料失效分析培训课件
目录TOC\o1-4\z\u
一、半导体材料失效分析概述 3
二、半导体材料分类与特性 5
三、失效分析通用流程与原则 8
四、半导体材料机械类失效模式 12
五、半导体材料热学类失效模式 14
六、半导体材料电学类失效模式 19
七、半导体材料化学类失效模式 22
八、失效分析显微结构表征技术 25
九、失效分析成分检测技术 29
十、失效分析电学性能测试技术 32
十一、失效分析热学性能测试技术 35
十二、失效分析力学性能测试技术 38
十三、硅基半导体材料失效分析要点 40
十四、
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