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《半导体电子特气安全使用规范》
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一、总则 2
二、术语与定义 4
三、特气采购与验收要求 7
四、特气储存管理要求 9
五、特气运输与搬运要求 13
六、特气使用前检查要求 15
七、特气输送系统安装要求 17
八、特气操作使用规范 19
九、特气泄漏应急处置要求 25
十、特气废弃物处置要求 27
十一、作业人员培训要求 30
十二、安全防护装备配备要求 32
十三、监测报警系统配置要求 35
十四、日常巡检与维护要求 39
十五、安全标识管理要求 42
十六、事故报告与调查要
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