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《光刻胶涂布显影工艺操作规范》
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一、总则 3
二、适用范围 5
三、规范性引用文件 6
四、术语与定义 8
五、工艺基本要求 10
六、涂布显影设备要求 12
七、光刻胶存储管理要求 14
八、光刻胶使用前检查要求 18
九、涂布前基板准备规范 19
十、涂布参数设置规范 21
十一、涂布操作执行规范 23
十二、涂布后软烘操作规范 26
十三、显影前准备操作规范 29
十四、显影参数设置规范 32
十五、显影操作执行规范 34
十六、显影后硬烘操作规范 37
十七、工艺后检
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