锥形纳米通道内气体的压力驱动和热蠕动流特性研究.pdf

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摘要

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近年来,气体传感器技术发展迅速,在危险气体检测、火灾预警及泄漏监

控等安全工程领域发挥着关键作用。其中,微纳米气体传感器的检测性能高度

依赖于微纳米尺度下的气体传输特性。在纳米尺度下,气体流动不仅受压力驱

动而产生显著的滑移效应,在温度梯度作用下还会引发热蠕动流现象。目前,

微纳米尺度气体流动的研究主要集中于直通道结构,对具有几何非对称性的锥

形通道的研究存在明显不足。锥形纳米通道内气体流动会表现出独特的二极管

效应,

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