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厂房恒温恒湿系统规范（2026完整版）

第一章总则

一、适用场景

1.本规范适用于国内所有新建、改建、扩建的电子精密制造、无菌医药生产、航空航天零部件加工、高端纺织精加工、食品无菌分装类工业厂房的恒温恒湿系统全生命周期管理，覆盖设计、施工、调试验收、运维全流程环节。

2.本规范不适用于有放射性特殊防护要求的军工试验厂房、有强腐蚀介质持续泄漏的化工生产车间，此类特殊场景可在本规范基础上补充专项管控条款后参照执行。

二、编制原则

1.安全优先原则，所有条款设置均以保障厂房生产安全、系统运行安全、人员操作安全为核心前提，所有涉及电气、压力部件的指标均高于现行国家强制标准最低要求15%以上。

2.能效适配原则，针对不同生产负荷等级的厂房设置差异化的能耗管控指标，避免过度配置造成的能源浪费，系统长期运行能效必须符合国家《工业节能管理办法》的相关要求。

3.可落地执行原则，所有操作流程、参数阈值、处罚规则均设置明确可量化的判定标准，无模糊性表述，一线运维人员可直接对照开展日常工作，无需额外二次解读。

第二章系统设计基础要求

一、温湿度参数分级设定

1.不同工业场景的参数阈值，针对芯片光刻、晶圆制造类高精度生产车间，设定温度控制基准值22℃，允许偏差±0.5℃，相对湿度基准值45%RH，允许偏差±3%RH；针对无菌制剂、生物疫苗类医药生产车间，设定温度控制基准值24℃，允许偏差±