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先进制程工艺培训课件.docx

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    先进制程工艺培训课件

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、先进制程工艺概述与分类 3

    二、先进制程核心技术指标 5

    三、光刻技术基本原理 10

    四、极紫外光刻技术详解 14

    五、多重图形化技术应用 20

    六、先进刻蚀工艺技术 24

    七、薄膜沉积技术类型 26

    八、原子层沉积技术应用 29

    九、化学机械抛光工艺原理 32

    十、先进封装集成技术 35

    十一、三维集成制造技术 37

    十二、制程缺陷检测技术 39

    十三、高数值孔径光刻技术 43

    十四、先进制程良率提升方法 45

    十五、工艺仿真技术应用 48

    十六、绿色

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