镀膜机管理试题及答案.docxVIP

镀膜机管理试题及答案

一、单项选择题（共10题，每题2分，总分20分）

1.镀膜机开机前，必须检查真空室内的清洁度，通常使用（）进行擦拭，严禁使用棉纱等易掉毛的物品。

A.工业酒精

B.丙酮

C.蒸馏水

D.洗洁精

2.在真空镀膜过程中，如果真空度突然下降，首先应检查（）。

A.真空泵油是否充足

B.真空阀门是否处于关闭状态

C.真空室是否漏气

D.蒸发源是否正常加热

3.镀膜机常用的真空泵中，能够获得超高真空（10^-6Pa级别）的主要是（）。

A.旋片式机械泵

B.干式螺杆泵

C.扩散泵或分子泵

D.罗茨泵

4.防止镀膜过程中靶材起弧（打火）的主要措施是（）。

A.降低靶材加热功率

B.定期清洁靶材表面和屏蔽罩

C.增加真空室内的气体压强

D.减少冷却水的流量

5.下列哪种情况属于镀膜机严重的安全隐患？（）

A.真空泵油位低于最低刻度线

B.真空室门未锁紧

C.冷却水管路有轻微渗漏

D.靶材支架有轻微松动

6.镀膜机的水冷系统如果发生严重漏水，会导致（）。

A.真空度升高

B.真空泵油乳化

C.蒸发源温度过高

D.真空室压力正常

7.在磁控溅射镀膜中，为了提高沉积速率，通常采用（）技术。

A.直流溅射

B.射频溅射

C.磁控溅射

D.离子束溅射

8.镀膜机停机后，为了防止真空泵油被污染，通常