原创力文档总总量研究量研究年年1111月月0022日日
1.2电子：先锋精科688605.SH
报告时间：2026年6月9日
投资建议：
公司是国内少数实现7nm及以下刻蚀与薄膜沉积设备关键零部件量产配套的企业之一，
深度绑定北方华创、中微公司、拓荆科技、屹唐股份等头部半导体设备客户，产品覆盖
腔体、内衬、匀气盘、加热器等核心工艺零部件，并持续推进金属加热盘、陶瓷加热盘
及静电吸盘等高附加值产品布局。根据SEM
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