陶瓷薄膜材料技术及其应用-信息材料器件技术发展研究课件PPT.pptVIP

落后于日本（其他国家）水平*取得较大进展*取得较大进展*简单介绍什么是陶瓷薄膜***以制备氧化锆陶瓷薄膜为实例：二氧化锆（ZrO2）是一种耐高温、耐磨损、耐腐蚀的无机非金属材料。随着电子和新材料工业的发展，ZrO2除传统应用于耐火材料和陶瓷颜料外，其在电子陶瓷、功能陶瓷和结构陶瓷以及薄膜科学等高科技领域的应用引起广大学者的重视，成为当今研究开发的热门课题之一。ZrO2的应用：（1）由于高纯ZrO2具有优良的物理化学性质，当其与某些物质复合时，在不同条件下又具有对电、光、声、气和温度等的敏感特性，使其广泛用于电子陶瓷、功能陶瓷和结构陶瓷等高新领域。ZrO2在电子陶瓷中的应用主要有电压元件，滤波器，超声波振荡器，蜂鸣器及高温导体和固体燃料电池等。ZrO2在功能陶瓷中的应用主要有气体传感器，温度传感器，声音传感器，压力传感器，加速度传感器等。Sol-gel法制备ZrO2实例（2）在微电子器件栅介质中的应用：随着电子器件特征尺寸的进一步缩小，作为栅介质的SiO2薄膜材料，由于高的栅极漏电流和薄膜可靠性变差，难以满足微电子产业进一步发展的需要。ZrO2因其具有较高的k值（k=15~30），较宽的禁带宽度（Eg=5.1~7.8），且与Si基体直接接触直到高温具有好的热学稳定性，是一种较具发展潜力的栅介质替代材料，可以替代SiO2，近些年逐渐引起