半导体传感器基础.ppt

0755　二. 感湿特征量—相对湿度特性　　每种湿度传感器都有感湿特征量，诸如电阻、电容等，通常用电阻比较多。以电阻为例，在规定的工作温度范围内，湿度传感器的电阻值随环境湿度变化的关系特性曲线，简称阻湿特性。有的湿度传感器的电阻值随湿度的增大而增大，这种为正特性湿敏电阻器，例如Fe3O4 湿敏电阻器。有的阻值随着湿度的增加而减小，这种为负特性湿敏电阻器，例如TiO2—SnO2 陶瓷湿敏电阻器。对于这种湿敏电阻器，低湿时阻值不能太高，否则不便于和测量系统或控制仪表相连接。　三. 感湿灵敏度　　感湿灵敏度，简称灵敏度，又叫湿度系数。它的定义是在某一相对湿度范围内，相对湿度改变1%RH 时，湿度传感器电参量的变化值或百分率。感湿灵敏度表征湿度传感器对湿度变化的敏感程度，若灵敏度高，湿度传感器对湿度的变化就敏感，反之，则不敏感。如果湿度传感器的特性曲线是线性的，那末在整个使用范围内，灵敏度就是相同的，如果湿度传感器的特性曲线是非线性的，那末灵敏度的大小就与其工作的相对湿度范围有关。各种不同的湿度传感器，对灵敏度的要求各不相同，对于低湿型或高湿型湿度传感器，它们的量程较窄，要求灵敏度很高。但对于全湿型湿度传感器，并非灵敏度越大越好，电阻值的动态范围很宽，这反而给配制二次仪表带来不便，所以灵敏度的大小要适当。　四. 温度系数　温度系数是反映湿度传感器的感湿特征量—相对湿度特性曲线随环境温度而变化的特性。感湿特征量随环境温度的变化越小，环境温度的变化所引起的相对湿度的误差就越小。温度系数分特征量温度系数和感湿温度系数。　在环境湿度保持恒定的情况下，湿度传感器特征量的相对变化量与对应的温度变化量之比，称为特征量温度系数。可分为电阻温度系数和电容温度系数。电阻温度系数（%/℃）=﹛（R2 －R1 ）/R1ΔT ﹜×100 电容温度系数（%/℃）=﹛（C2 －C1 ）/C1ΔT ﹜×100 式中ΔT—环境温度与25℃之差；R1 （C1 ）—25℃时湿度传感器的电阻值（或电容值）；R2 （C2 ）—另一规定环境温度时湿度传感器的电阻值（或电容值）。　五. 感湿温度系数　　感湿温度系数是反映湿度传感器温度特性的另一个比较直观、实用的物理量。它表示在两个规定的温度下，湿度传感器的电阻值（或电容值）达到相等时，其对应的相对湿度之差与两个规定的温度变化量之比，称为感湿温度系数，或者说，环境温度每变化1℃时，所引起的湿度传感器的湿度误差。感湿温度系数（%RH/℃）=（H2 －H1 ）/ΔT 式中ΔT—环境温度与25℃之差；　H1—25℃时湿度传感器的某一电阻值（或电容值）对应的相对湿度值；　H2—另一规定的环境温度下，湿度传感器的另一电阻值（或电容值）的相对湿度。　六. 响应时间　　响应时间也称为时间常数，它是反映湿度传感器对于相对湿度发生变化时，其反映速度的快慢。其定义是：在一定的温度下，当相对湿度发生跃变时，湿度传感器的电参数达到稳态变化量的规定比例所需要的时间。一般是以相应与起始和终止这一相对湿度变化区间的63% 的相对湿度变化所需时间。叫响应时间，单位是s，也有规定从始到终90% 的相对湿度变化作为响应时间的。响应时间又分为吸湿响应时间和脱湿响应时间。大多数湿度传感器都是脱湿响应时间大于吸湿响应时间，一般以脱湿响应时间作为湿度传感器的响应时间。各种湿度传感器的响应时间各不相同，这和感湿体的薄厚、水分子被吸附的方式，以及周围空气流动的速率有关，其规律为：体型湿度传感器的响应时间慢，薄型和表面型湿度传感器的快，物理吸附型相应快，化学吸附型相应慢，空气流动时相应快，静止时慢。对响应时间的要求是越快越好，响应时间快的湿度传感器可以短到1s ，有的长达十多分钟，不同的使用场合，对响应时间的要求也各不相同。　七. 湿滞回线和湿滞量　　湿度传感器在作升湿和降湿往返变化时的吸湿、脱湿特性曲线不重合，所构成的回线叫湿滞回线，如下图所示。由图中可知在同一电参量下，升湿和降湿曲线不重合，其最大的不重合度称为湿滞量，即图中所示的ab ，单位为%RH 。在长期的研究中发现，湿滞量的大小与水分子吸附的方式和响应时间有关，即化学吸附湿滞量大，物理吸附湿滞量小，响应时间短的湿滞量小，而响应时间长的湿滞量大，从这些现象中，我们不难分析出造成湿滞的原因。由于湿滞的存在，给湿度的测量带来了误差，所以应当尽量减小湿滞量，有的湿滞量极小，几乎可以忽略，有的湿滞量高达（5～7）%RH 。　八. 电压特性　当用湿度传感器测量湿度时，所加的测试电压，不能用直流电压，这是由于加直流电压引起感湿体内水分子的电解，致使电导率随时间的增加而下降，故测试电压采用交流电。　　右图表示湿度传感器的电阻与外加交流电压的关系，从图中可知，测试电压小于5V 时，电压对阻—湿特性没有影响。但交流