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二维纳米胶体球膜版的制备研究.pdf
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2008 8 M ICROFABR ICA TION TE CHNOLOGY Au g1 , 2008
: 10032 82 13( 200 8) 042004 72 03
1 1 1 2
, , ,
( 11 , 100037; 21 , 100022)
: 二维纳米胶体球膜版是利用纳米球刻蚀法制备纳米颗粒阵列的前提条件介绍了一种利用 组装法在基片
上直接制备二维聚苯乙烯纳米球膜版的新工艺, 讨论了影响获得大面积高度有序膜版的主要因素, 即基片的倾
角悬浮液的浓度基片的物理化学性质环境的温度和湿度利用原子力显微镜对膜版的形貌进行了表征, 结果表
明, 利用这种工艺可以得到排列均匀面积达平方厘米量级的纳米胶体球膜版, 非常适于纳米球刻蚀法的后序工艺
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: TN 3051 7 : A
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( nanosph er e l thography, N SL) [ 1] ,
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011% ~ 01 25% , , 01 1 LL ,
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: 20082 052 14 ; : 20082 062 16
: ( KM200710028005)
: ( 19 82 - ) , , , ,
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