La_0_7_Ca_0_3_MnO_3多晶薄膜的sol_gel法制备及表征.pdf

第30 卷 第1 期 电 子 元 件 与 材 料 Vol.30 No.1 2011 年1 月 ELECTRONIC COMPONENTS AND MATERIALS Jan. 2011 研 究 与 试 制 La0.7Ca0.3MnO3 多晶薄膜的sol-gel 法制备及表征 杨亮亮，殷明志，常亮亮 （西北工业大学 应用化学系，陕西 西安 710129） 摘要: 以 La 、Ca 、Mn 的无机盐替代相应的醇盐，以冰乙酸为溶剂，乙酰丙酮（AcAc ）为螯合剂，采用sol-gel 法在 Si(110)衬底上制备了 La0.7Ca0.3MnO3 （LCMO ）多晶薄膜，并用FTIR 、XRD 、SEM、EDS 和 TEM 等分析手段 对薄膜进行了表征，通过不同磁场下电阻 –温度(R-T) 曲线，研究了样品的输运性质及庞磁电阻(CMR)效应。结果表 明：薄膜具有典型的立方钙钛矿晶体结构，其平均晶粒尺寸约为 30 nm 且随退火温度的升高而增大；R-T 曲线有双 峰出现，高温峰是伴随顺磁-铁磁(PM-FM)相变出现绝缘体-金属(I-M)相变而产生，低温峰是由多晶界面效应及隧穿 效应产生；其磁阻 MR 在 110 K 时约为–38.0% 。 关键词: sol-gel 法；La0.7Ca0.3MnO3 薄膜；钙钛矿相；结构分析 中图分类号: O614.33 文献标识码:A 文章编号:1001-2028 （2011 ）01-0017-04 Preparation and characterization of La Ca MnO polycrystal 0.7 0.3 3 thin films prepared by sol-gel method YANG Liangliang, YIN Mingzhi, CHANG Liangliang (Department of Applied Chemistry, Northwestern Polytechnical University, Xi’an 710129, China) Abstract: Using glacial acetic acid as solvent and acetylacetone (AcAc) as chelating agent, polycrystal La0.7Ca0.3MnO3 thin films on silicon (110) substrates were fabricated by sol-gel method with inorganic salts (La, Ca, Mn) instead of corresponding alkoxide. Obtained thin films were characterized by means of FTIR, XRD, SEM, EDS and TEM. The transport properties and CMR effect of the sample were studied through R-T curves at different magnetic field. The results show that the films have typical cubic perovskite crystal