飞秒激光单次扫描在硅内部制作高纵横比的狭槽.docVIP

  飞秒激光单次扫描在硅内部制作高纵横比 的狭槽# 任海，马云灿，司金海，史海涛，陈涛，侯洵** 5 10 15 20 25 （西安交通大学电子与信息工程学院，西安 710049） 摘要：本文介绍了利用中心波长为 800 nm 的飞秒激光以单次扫描的方式，分别在去离子水 环境和空气环境中对单晶硅片进行微纳加工，并在其内部诱导出具有高纵横比的狭槽结构。 利用扫描电子显微镜（SEM）和能量色散 X 射线光谱仪（EDS），分别测量了狭槽结构的形貌 及化学成分。SEM 测试结果表明，与空气环境中制作的狭槽相比，去离子水环境中制作的狭 槽内壁更加光滑，且附有百纳米尺寸的突起；EDS 测试结果表明，在去离子水环境中制作的 狭槽周边区域没有发现氧元素，而空气环境中制作的狭槽周边区域引入了氧元素，我们认为 这是由于飞秒激光诱导硅产生的悬空键俘获氧的结果，并且氧含量对入射激光强度有依赖 性。 关键词：飞秒激光；狭槽；硅；氧；悬空键俘获效应 中图分类号：TN249; TN405 High-aspect-ratio grooves fabricated in silicon by a single pass of femtosecond laser pulses Ren Hai, Ma Yuncan, Si Jinhai, Shi Haitao, Chen Tao, Hou Xun (School of Electronics and Information Engineering, Xi’an Jiaotong University, Xian 710049) Abstract: High-aspect-ratio grooves have been fabricated in silicon by a single pass of femtosecond laser pulses in water and ambient air, respectively. Scanning electron microscopy (SEM) and energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) were employed to image for the morphology of the photoinduced grooves and analyze the chemical composition in surrounding of the grooves, respectively. It was observed that the sidewall of the grooves fabricated in water was much smoother than that in ambient air, and there were homogeneous nano-scale protrusions on the sidewall of the grooves fabricated in water. Meanwhile, oxygen species, which was incorporated into the grooves fabricated in air, was not observed in the those in water. Keywords: Femtosecond laser; Grooves; Silicon; Oxygen; Trapping effect of the dangling bond 30 1 引言 飞秒激光因其超短的脉冲宽度和超高的峰值功率特性成为微纳加工领域理想的加工工 具，其可以对半导体[1]、玻璃[2]、聚合物[3]、陶瓷[4]、金属[5]等诸多类型的材料实施精密加工。 硅是半导体产业界广泛使用的一种材料，而在硅表面制作的微结构在微电子学与器件领域具 35 40 有潜在的应用价值，因此，飞秒激光与硅相互作用已然引起人们的强烈关注。目前，很多研 究小组利用飞秒激光在硅表面加工出了各种各样的微结构，例如孔洞[6-7]、波纹[8-10]、柱状结 构[11-13]等。然而，由于大部分实验中所用激光波长处于硅的吸收带内，因此与透明材料相比， 在硅材料内部制作微结构以及对其形貌进行观测变得相当困难，从而使得飞秒激光与硅材料 间的相互作用研究仅局限于硅片表面，很少有关于飞秒激光在硅内部诱导微结构的相关报 道。最近，我们课题组利用中心波长为 800 nm 的飞秒激光在硅材料内部成功诱导出了单个 和多个微通道[14-15]。 基金项目：本课题得到高等学校博士学科点专项科研基金（项目编号：200806980022）的资助。 作者简介：任海，（1985-），男