超声波马达在美国的发展.pdfVIP

第2 1卷第1期 压　电　与　声　光 . 2 1 . 1 V o l N o 19 9 9 年2 月 P IEZO EL ECTR IC S A COU STOO P T IC S F eb. 1999 超声波马达在美国的发展 褚祥诚 　陈维山　陈在礼 ( 哈尔滨工业大学机电学院, 哈尔滨 15000 1) 　　摘　要　基于参考文献和 In tern et 网络查询, 提出超声波马达在美国的最新研究与主要方 向。研究包括: 微型超声波马达、具有新颖结构的压电驱动器、超声波马达的使用寿命、超声波马达 在太空环境中的应用研究等, 这些方面已引起学者们的极大关注。这些重要的研究跨及航天、海 洋、军事和民用领域。 　　关键词　超声波马达; 压电驱动器; 微操纵器; F EM ; 行波; 固态驱动器 　　分类号　T P 2 11 　 根据超声马达这些特点, 国外已将其应 1　引言 用于以下诸多领域: 超声波马达是利用压电材料的逆压电效 ( 1) 光学　透镜精密定位、光纤维位置 应实现驱动的一种新型微特电机, 由于它通 校正、相机镜头 自动聚焦系统和隧道扫描显 常采用固态压电材料实现电能向机械能的转 微镜等; 化, 转子的旋转力来源于转子与定子间的摩 ( 2) 机械　机构主动式控制、振动的抑 [ 1 ] 擦力, 故也可将其称为固态摩擦驱动器 。 制与产生、工具的精密定位、压电夹具体、机 我们利用 In tern et 国际网系统地查询了 器人、计算机和医疗设备等; 有关美国超声波马达的研究。根据资料总结 (3) 流体　流体测量、液泵、液阀和药液 超声波马达的特点如下[2～ 5 ] : 注射器等; ( 1) 高刚度, 高力矩密度; ( 4) 电子　 电子断路器、焊接工具的定 (2) 低压输入电源; 位系统等。 (3) 高精密定位; 2　超声马达的研究 (4) 响应时间短; (5) 低耗; 2 1　行波马达 (6) 无游隙和空行程; 同其他压电驱动器比, 行波型超声波马 (7) 单位长度变形量大; 达具有高力矩低转速、精密运动、快速响应、 (8) 无噪音, 无电磁干扰; 防电磁干扰和核辐射等独特的特点, 所以行 (9) 应用中可达到很高的集成度; 波型超声波马达在美国得到更加广泛的研究 ( 10) 无源 自制动; 与应用。象A lliedSign a l A ero sp ace, K an sa s ( 11) 高力矩时具有高效, 低速的特点; 与 大学超声马 C ity D i