ZDS—1型电泳机完好要求和检查评定方法.pdfVIP

设备完好要求和检查评定方法 专 用 设 备 中华 人 民共 和 国 电子 行业 标 准 SJ/T31107-94 ZDS-1型电泳机完好要求和检查 评 定 方 法 1 主要内容与适用范围 本标准规定了ZDS-1型电泳机的完好要求和检查、评定方法。 本标准适用于半导体器件生产用类似ZDS-1型电泳机。 2 完好要求 2.1 主要技术指标 2.1.1 玻璃搅拌器可带动ZL玻璃粉溶液进行搅拌。 2.1.2 电极电压(直流电压))0^-450V，可调;电压波动不超过工艺要求范围。 2.2 真空系统 确保阴极板与硅片紧密接触，不掉片，无玻璃液泄漏现象，同时也不能因真空度过高造成 碎片。 2.3 机体系统 2.3.1可提供0-500V直流稳压 2.3.2 阴、阳电极间距可调。 2.3.3 电泳槽搅拌器在停开5min后启动仍可带动拌子搅拌。 2.3.4 搅拌器自动控制系统运行可靠。 2.3.5 各仪表性能灵敏，指示准确，有有效期内校验合格证 2.4 电气系统 2.4.， 电气箱内清洁，布线整齐，线路无破损老化、各种线路标志明