Ni-Cr合金薄膜桥结构的安全设计与性能研究.pdfVIP

材料导报网刊 2007 年12 月第5 期 ·28 · Ni-Cr 合金薄膜桥结构的安全设计与性能研究* 阿苏娜，李国新，王广海 (北京理工大学宇航科学技术学院，北京100081) 摘要 金属薄膜电桥结构是影响发火与安全性能的决定因素，通过磁控溅射方法设计制备了2 种不同结构的薄膜电桥， 并对其发火与安全性能进行了分析和测试。具有良好热散失性能的蝶形电桥结构抗静电能力强、具有良好的安全性能，是 一种安全型的电发火器件。 关键词 金属薄膜桥 磁控溅射 静电感度 安全性 焦尔热 Security Design and Study of Characteristics Study of Ni-Cr Alloy Film Bridge Asuna, LI Guoxin, WANG Guanghai (Department of Mechatronic Engineering, Beijing Institute of Technology, Beijing 100081) Abstract The structure of the metal film bridge is the important decisive factor to in influencing the firing function and safety function. The two different film bridges were are produced by the magnetron sputtering, and the firing function and safety function were are tested and analyzed. The papilionaceous film bridge with the better hot heat dissipation ability can resist the static electricity and has the better security, and is the a kind of secure electrical igniter. Key words metal film bridge, magnetron sputtering, static sense electrostatic sensitivity, security, joule hot heat 薄膜桥是新型桥类火工品，它包括应用日益广泛的半导 其中，L 为桥长，W 为桥宽，d 为桥膜厚度，得出： [1~3] 体桥，爆炸桥膜等 。金属薄膜桥的电性能、安全性能一 W ρ 直是人们关切的问题。薄膜桥可以通过改变结构形状来改变 L Rd (3) 其特性，诸如发火能量、安全电流等，以适应不同用途的需 对于桥区尺寸的选择，除受 1.5 Ω电阻大小限制外，还 要。本文采用镍铬材料，依据提高点火器件点火安全性的要 与安全电流及临界能量有关。在临界发火能量与桥横截面积 求设计制备了两种不同形状的金属薄膜电桥，并对其进行了 试验中，临界发火能量随着桥的横截面积增大而增大。而临 安全电流试验、抗静电试验、发火电流试验等。实验结果表