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钛酸铋钠系列铁电薄膜的研究/李大吉等 ·27 ·
钛酸铋钠系列铁电薄膜的研究
李大吉，王亚平，李绍霞，王 卓
(烟台大学环境与材料工程学院，烟台 264005)
摘要 铁电薄膜材料、集成铁电器件以及与之相关的物理问题,多年来一直是物理学(特别是电介质物理学) 、材料科学
与工程、微电子与光电子等领域的科学技术人员所关注的重要问题之一。重点介绍了钛酸铋钠系列铁电薄膜及其掺杂的研究,
同时介绍了笔者对钛酸铋钠薄膜掺杂钙、锶、钡的一系列研究工作。
关键字 钛酸铋钠 铁电薄膜 掺杂
The Study of Serial Na Bi TiO Ferroelctric Thin Film
0.5 0.5 3
LI Daji, WANG Yaping, LI Shaoxia, WANG Zhuo
(The school of environment and materials engineering in Yantai University, Yantai, Shandong, 264005)
Abstract Ferroelectric thin-film materials , integrated ferroelectric apparatus and correlative physics questions have been paid
close attention to for many years by technical staff in physics(especially dielectric physics), material science and engineering ,
microelectronics and photoelectron scientific fields.The research of titanium bismuth sodium thin film and its doped series are
introduced in details in the article.Meanwhile our serial study of titanium bismuth sodium thin films doping the calcium , strontium ,
barium are introduced.
Key words Na Bi TiO ，ferroelctric thin film ，doping
0.5 0.5 3
0 引言 年7 月1 日实施。因此，研究和开发高性能的无铅铁电薄膜
具有重要的社会和经济意义。以下介绍几种无铅铁电材料。
铁电薄膜是一类重要的功能性薄膜材料,多年来一直是
1 钛酸铋钠（Na Bi TiO ）
铁电性研究和高技术新材料研究的前沿和热点之一，以铁电 0.5 0.5 3
存储为代表的器件可望在微电子领域得到广泛的应用。 1.1 钛酸铋钠Na0.5Bi0.5TiO3 结构和相变性质
Pb(Zr Ti )O 、SrBi
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