一种改进型高精度激光三角位移传感器的结构设计研究.pdfVIP

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2017-09-20 发布于河南
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一种改进型高精度激光三角位移传感器的结构设计研究.pdf

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14 《激冀l臻弱高攀黎慈罨裹搀铲光三角警馨簋案瑟怠譬霞镰慧臻矗加町) 一种改进型高精度激光三角位移传感器的结构设计研究曹红超1，-，陈磊3，王波1，-，朱万彬1 CAO Wan—binl Hong—dfl8012wCHENLei3-WANG1301,2tZHU ，，1．State of Instituteof KeylaboratoryAppliedOptics，ChnngchunOptics-Fine胁dlmh、 and of 130033。China； l Physics-Chin雠Academysciences，Changdmn l 2．G／adusteSchoolofChinese of Academy 100039，China； I Sciences，Beijing 0fScienceand ＼3．InstituteofScience，PLA University Technology，Nanjm9211101。Ofina／三角测量法…I最为普遍，但人们似乎更着重于对提高测量精式中，口。为激光束光轴与被测面法线之间的夹角；02为度的研究，而对提高测量范围问题的研究较少。本文对此问成像透镜光轴与被测面法线之间的夹角：以为探测器光轴与题进行了研究提出了一种基于三角测量法的可大大提高测成像透镜光轴之间的夹角。量范围的设计方案，并给出了测距方程，理论分析表明此方案是可行的。 1 几种常见的三角法测量结构及原理(2] 1．1直射式直射式三角法测量等效光路如图I所示。激光器发出的光线，经会聚透镜聚焦后垂直入射到被测物体表面上，物体移动或表面变化导致入射光点沿入射光轴移动。接收透镜接收来自入射光点处的散射光，并将其成像在光点位置探测器【3J(如PSD、CCD) 图2斜射式光路图以上就是两种最常见的激光三角位移测量法的结构和测量原理，从上面两种结构可以看出当测量距离比较大的时候，入射在目标上的光点经接收透镜成像后有可能打不到探测器上，即在探测器尺寸一定的情况下，测量距离将受到大大的限制。为解决此问题我们对其进行了改进，设计了一种新的结构可以利用较小的探测器尺寸获得较大的测量范围。图1直射式光路图 2改进型三角法测量结构及位移表达式的测量原理：利用相似三角形各边之间的比例关系。按下推导式可求出被测面的位移：僦’sin02 ．为了获得较大的测量范围，在接收透镜像方空间平行于透茗。丽丽=瓦丽而镜主光轴的地方安装了—平面全反射镜，其结构如图3所示式中，口为激光束光轴和接收光轴的交点到接收透镜前 2．1位移表达式的理论推导