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数字式传感器工作原理.ppt

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* 第13章 数字式传感器 第13章 数字式传感器 13.1 光栅传感器 13.2 编码器 13.3 感应同步器 13.1 光 栅 传 感 器 13.1.1 光栅的结构及工作原理 1. 光栅结构 在镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹(又称为刻线),这就是光栅,图13-1为透射光栅的示意图。图中a为栅线的宽度(不透光),b为栅线间宽(透光), a+b=W称为光栅的栅距(也称光栅常数)。通常a=b=W/2,也可刻成a∶b=1.1∶0.9。目前常用的光栅每毫米刻成10、25、50、 100、250条线条。 图13 – 1 透射光栅示意图 2. 光栅测量原理 把两块栅距相等的光栅(光栅1、光栅2)面向对叠合在一起,中间留有很小的间隙,并使两者的栅线之间形成一个很小的夹角θ,如图13-2所示,这样就可以看到在近于垂直栅线方向上出现明暗相间的条纹,这些条纹叫莫尔条纹。由图13 - 2可见,在d - d线上,两块光栅的栅线重合,透光面积最大, 形成条纹的亮带, 它是由一系列四棱形图案构成的;在f - f线上,两块光栅的栅线错开,形成条纹的暗带,它是由一些黑色叉线图案组成的。因此莫尔条纹的形成是由两块光栅的遮光和透光效应形成的。 图13-2 光栅莫尔条纹的形式 莫尔条纹测位移具有以下三个方面的特点。 (1) 位移的放大作用 当光栅每移动一个光栅栅距W时, 莫尔条纹也跟着移动一个条纹宽度BH,如果光栅作反向移动,条纹移动方向也相反。莫尔条纹的间距BH与两光栅线纹夹角θ之间的关系为 (13 - 1) θ越小,BH越大,这相当于把栅距W放大了1/θ倍。例如θ=0.1°,则1/θ≈573,即莫尔条纹宽度BH是栅距W的573倍, 这相当于把栅距放大了573倍,说明光栅具有位移放大作用, 从而提高了测量的灵敏度。 (2) 莫尔条纹移动方向 如光栅1沿着刻线垂直方向向右移动时,莫尔条纹将沿着光栅2的栅线向上移动;反之,当光栅1向左移动时,莫尔条纹沿着光栅2的栅线向下移动。 因此根据莫尔条纹移动方向就可以对光栅1的运动进行辨向。  (3) 误差的平均效应 莫尔条纹由光栅的大量刻线形成,对线纹的刻划误差有平均抵消作用,能在很大程度上消除短周期误差的影响。 13.1.2 光栅传感器的组成 光栅传感器作为一个完整的测量装置包括光栅读数头、光栅数显表两大部分。光栅读数头利用光栅原理把输入量(位移量)转换成响应的电信号;光栅数显表是实现细分、辨向和显示功能的电子系统。 1. 光栅读数头 光栅读数头主要由标尺光栅、指示光栅、光路系统和光电元件等组成。标尺光栅的有效长度即为测量范围。指示光栅比标尺光栅短得多,但两者一般刻有同样的栅距,使用时两光栅互相重叠,两者之间有微小的空隙。 标尺光栅一般固定在被测物体上,且随被测物体一起移动,其长度取决于测量范围,指示光栅相对于光电元件固定。光栅读数头的结构示意图见图13- 3。 图13 – 3 光栅读数头结构示意图 前面分析的莫尔条纹是一个明暗相间的带。从图13-2看出,两条暗带中心线之间的光强变化是从最暗到渐暗,到渐亮,一直到最亮,又从最亮经渐亮到渐暗, 再到最暗的渐变过程。 主光栅移动一个栅距W,光强变化一个周期,若用光电元件接收莫尔条纹移动时光强的变化,则将光信号转换为电信号,接近于正弦周期函数(如图13 -4所示), 如以电压输出,即 (13 - 2) 式中: uo——光电元件输出的电压信号;  Uo——输出信号中的平均直流分量;  Um——输出信号中正弦交流分量的幅值。 由式(13 - 2)可见,输出电压反映了位移量的大小。 图13-4 光栅位移与光强、输出电压的关系 2. 光栅数显表 光栅读数头实现了位移量由非电量转换为电量,位移是向量, 因而对位移量的测量除了确定大小之外,还应确定其方向。 为了辨别位移的方向, 进一步提高测量的精度,以及实现数字显示的目的,必须把光栅读数头的输出信号送入数显表作进一步的处理。光栅数显表由整形放大电路、细分电路、辨向电路及数字显示电路等组成。  (1) 辨向原理 采用图13-3中一个光电元件的光栅读数头, 无论主光栅作正向还是反向移动,莫尔条纹都作明暗交替变化, 光电元件总是输出同一规律变化的电信号,此信号不能辨别运动方向。为了能够辨向,需要有相位差为π/2的两个电信号。 图13 - 5为辨向的工作原理和它的逻辑电路。在相隔BH/4间距

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