精密测量原理.pdf

精密测量原理与技术 精度的预测（Taniguchi ，1980） 精密测量技术 精密测量技术 日本精工原子力显微镜 SPA400 分辨率：XY 0.2nm Z 0.01nm 扫描范围： XY 20um Z 2um 关键问题  传感器  工作台  数据处理  环境控制 三坐标测量技术 三坐标测量技术 精密测量技术 圆度测量技术 精密测量技术 圆度测量技术 表面测量技术 表面测量技术 术 术 技 技 量 量 测 测 密 密 精 精 扫描探针显微镜 扫描探针显微镜 纳米测量的扫描X射线 微纳米级精密测量技术 纳米测量的扫描X射线 微纳米级精密测量技术 干涉技术 干涉技术 光学干涉显微镜 光学干涉显微镜 测量技术 测量技术 CCD传感技术 CCD传感技术 图像识别测量技术 图像识别测量技术 全息照相技术 全息照相技术 最小二乘法 最小二乘法 极差极小化 极差极小化