CCD 同步协同技术在同步移相干涉术中的应用.docVIP

第 28 卷第 4 期  光电技术应用 ELECTRO-OPTIC TECHNOLOGY APPLICATION  Vol.28，No.4  ·光电系统· CCD 同步协同技术在同步移相干涉术中的应用 徐萌萌，左 芬  （淮阴师范学院物理与电子电气工程学院，江苏 淮安 223001） 摘 涉图的空间分辨率。选择多 CCD 系统中的一个 CCD 作为主机，产生同步信号来控制所有 CCD 同时工作，设计了以视频同步信号 发生器 CXD1217Q 为核心的同步信号发生和外协同电路，提出了一种基于 OPA692 视频放大器的同步信号驱动和分发电路。 关键词：干涉测量；同步移相；抗振；多 CCD 同步协同 中图分类号：TN709 文献标识码： 文章编号：1673-1255（2013）-04-0018-03 Application of Multi-CCD-synergy Technology in Simultaneous Phase-shifting Interferometry XU Meng-meng, ZUO Fen (School of Physics and Electronic Electrical Engineering, Huaiyin Normal University, Huaian 223001, China) Abstract: In simultaneous phase-shifting interferometry system based on three-bucket algorithm, three CCD cameras of the same characteristics are utilized to pick up the three space interferograms synchronously, so that the space resolution of the interferogram can be improved effectively. One of the multi-CCD-synergy system is selected as the master to associate the sync-signals with the others. A central circuit of sync-signals generation and sig? nal-cooperation is designed by the video sync-signal generator CXD1217Q as the main IC. Meanwhile, a circuit of the drive and distribution of sync-signals is presented by using the video operation amplifier OPA692. Key words: interferometry; simultaneous-phase-shifting; anti-vibration; multi-CCD-synergy  近年来，光学干涉测量技术以其高精度、高可靠性， 在计量、工业产品质量测控等精密测量领域发挥了广 泛而不可替代的作用。移相干涉采用数字波面相位检 [1-2]。但 是在实际的工程应用中，环境的扰动尤其是振动对干 涉测量的精度造成了较为显著的影响[1,3,4,5]，这限制了 干涉测量技术在大口径光学元件的在线监测中的推广 应用。因此，有关振动对干涉测量的影响以及干涉测 量的抗振技术的研究越来越重要，主要表现为测量的 算法研究和干涉测量的系统研究两个方向。比较典型  的有：基于高速采集的单幅干涉图法、共光路式的干涉 仪、随机移相干涉术、自适应抗振干涉术、同步移相干 涉术等。其中，同步移相干涉术利用光学元件对参考 光和测试光产生的干涉光束进行分光、移相，并对多幅 移相干涉图进行同时采集，这既保证了移相干涉测量 的精度，同时由于干涉图是一次采集，通过设置 CCD 的 电子快门时间，可以在各种不同的振动环境中得到对 比度良好的移相干涉图，从而可以进一步运用移相算 法恢复被测波面。在目前现有的同步移相干涉测量系 统中，多采用一个 CCD 经过分区来同时采集 3~4 幅移相  收稿日期：2013-05-04 基金项目:2012 年度第二批国家级大学生创新创业训练计划项目（201210323001）；2012 年江苏省高等学校大学生实践创新训练计划重点项目 （2012JSSPITP2480）；淮安市科技支撑计划项目（HA2010002） 作者简介：徐萌萌（1990-），男，江苏淮安人。