犓9 玻璃亚表面损伤的分步腐蚀法测量.docVIP

第 ２１ 卷 　 第 ２ 期 ２０１３ 年 ２ 月 　 　 　 光学 精密工程 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎｇ 　 　 　 　 　 　 　  Ｖｏｌ．１　Ｎｏ． 　 Ｆｅｂ．０１３  文 章 编 号 　１００４９２４Ｘ（０１３）２０２８７０７ 犓９玻璃亚表面损伤的分步腐蚀法测量 戴子华，朱永伟 ，王建彬，居志兰，刘蕴锋 （南 京 航 空 航 天 大 学 机 电 学 院 ，江 苏 南 京 ２１００１６） 摘 要 ：为 了 消 除 ＨＦ 酸 差 动 腐 蚀 法 测 试 中 环 境 因 素 对 测 试 精 度 的 影 响 ，提 出 了 ＨＦ 酸 分 步 腐 蚀 法 ，并 引 入 修 正 系 数 犓犻 来 对 不 同 腐 蚀 阶 段 的 环 境 变 化 做 适 当 的 修 正 以 提 高 测 量 精 度 。 采 用 ＨＦ 酸 分 步 腐 蚀 法 测 量 了 固 结 磨 料 抛 光 垫 （ＦＡＰ）研 磨 后 Ｋ９ 玻 璃 的 亚 表 面 损 伤 层 深 度 ，并 与 ＨＦ 酸 差 动 腐 蚀 速 率 法 和 磁 流 变 抛 光 斑 点 法 的 测 量 结 果 进 行 了 对 比 研 究 。 结 果 显 示 ，用 本 文 提 出 的 方 法 测 量 得 到 的 亚 表 面 损 伤 层 深 度 为 ３．７９μｍ，其 他 两 种 测 量 方 法 测 得 的 结 果 分 别 为 ０．３７μｍ 和 ２．２μｍ。 测 量 结 果 表 明 ，分 步 腐 蚀 法 的 测 量 精 度 更 高 ，其 结 果 更 加 符 合 实 际 情 况 。 另 外 测 试 中 引 入 了 实 验 校 正 系 数 犓犻，很 大 程 度 上 减 少 了 操 作 环 境 及 重 复 操 作 带 来 的 累 积 误 差 。 关 　 键 　 词 ：Ｋ９ 玻 璃 ；亚 表 面 损 伤 ；研 磨 ；ＨＦ 酸 腐 蚀 ；分 步 法 中 图 分 类 号 ＴＱ１７１．８４　 　 文 献 标 识 码 ： 　 　犱狅犻：０．７８８／ＯＰＥ．０１３２１０２．２８７ 犕犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳狊狌犫狊狌狉犳犪犮犲犱犪犿犪犵犲狅犳犓９犵犾犪狊狊 犫狔狊犲狆犫狔狊犲狆犲犮犺犻狀犵犿犲犺狅犱 ＤＡＩＺｉｈｕａ，ＺＨＵ Ｙｏｎｇｗｅ ，ＷＡＮＧＪａｎｂｉｎ，ＪＵ Ｚｈｉｌｎ，ＬＩＵ Ｙｕｎｅｎｇ （狅犾犲犵犲狅犳 犕犲犮犺犪狀犻犮犪犾犪狀犱犈犾犲犮狋狉犻犮犪犾犈狀犵犻狀犲犲狉犻狀犵， 犖犪狀犼犻狀犵犝狀犻狏犲狉狊狋狔狅犳 犃犲狉狅狀犪狌狋犮狊犪狀犱 犃狊狉狅狀犪狌狋犮狊，犖犪狀犼犻狀犵２１００１６，犆犺犻狀犪） 犆狅狉狉犲狊狆狅狀犱犻狀犵犪狌狋犺狅狉，犈犿犪犻 ：犲犲狔狑狕犺狌＠狀狌犪犪．犱狌．狀 犃犫狊狉犪犮狋：ＴｏｒｅｍｏｖｅｔｈｅｅｆｅｃｔｏｆｅｎｖｉｏｎｍｅｎｔａｌｃｏｎｄｉｉｏｎｓｏｎｔｈｅｍｅａｓｕｒｎｇａｃｃｕｒａｃｙｏｆＨＦａｃｄｄｉ ｆｅｒｅｎｔａｌｃｏｒｒｏｓｏｎｒａｔｅｍｅｔｈｏｄ，ａＨＦｓｔｅｐｂｙｓｔｅｐｅｔｃｈｉｎｇｍｅｔｈｏｄｗａｓｐｒｏｐｏｓｅｄ．Ｔｈｅｃｏｒｒｅｃｔｏｎｆａｃ ｔｏｒ犓ｉ ｗａｓｉｎｔｒｏｄｕｃｅｄｔｏｃｏｒｒｅｃｔｔｈｅｅｎｖｉｏｎｍｅｎｔａｌｃｈａｎｇｅｓｉｎｄｉｆｅｒｅｎｔｅｔｃｈｉｎｇｓｔｅｐｓａｎｄｔｏｉｍｐｒｏｖｅ ｔｈｅｍｅａｓｕｒｎｇａｃｃｕｒａｃｙ．ＥｘｐｅｒｍｅｎｔｓｓｈｏｗｔｈａｔｔｈｅｓｕｂｓｕｒａｃｅｄａｍａｇｅｌｙｅｒｄｅｐｔｈｏｆｔｈｅＫ９ｇｌｓｓ ａｆｅｒＦｉｘｅｄＡｂｒａｓｖｅＰａｄ（ ＡＰ）ｌｐｐｉｎｇｉ ３．７９μｍ ｍｅａｓｕｒｅｄｂｙｔｈｅ ＨＦｓｔｅｐｂｙｓｔｅｐｅｔｃｈｉｎｇ ｍｅｔｈ ｏｄ．Ａｓｃｏｍｐａｒｅｄ ｗｉｈ０．３７μｍ ａｎｄ２．２μｍ ｍｅａｓｕｒｅｄｂｙｔｈｅ ＨＦａｃｄｄｉｆｅｒｅｎｔａｌｃｏｒｒｏｓｏｎｒａｔｅ ｍｅｔｈｏｄａｎｄｔｈｅｍａｇｎｅｔｏｒｈｅｏｌｏｇｉａｌｆｎｉｈｉｎｇｓｐｏｔｍｅｔｈｏｄ，ｒｅｓｐｅｃｔｖｅｙ，ｔｄｅｍｏｎｓｔｒａｔｅｓｔｈａｔｔｈｅｐｒｏ ｐｏｓｅｄｍｅｔｈｏｄｉｎｔｈｉ ｐａｐｅｒｈａｓｈｉｇｈｅｒｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｃｃｕｒａｃｙａｎｄｉ ｉｎｗｅｌａｃｃｏｒｄａｎｃｅｗｉｈｔｈｅａｃｔｕａｌ ｓｔｕａｔｏｎ．Ｆｕｒｔｈｅｒｍｏｒｅ，ｔｈｅｉｎｔｒｏｄｕｃｔｏｎｏｆｅｘｐｅｒｍｅｎｔａｌｃｏｒｒｅｃｔｏｎｆａｃｔｏｒ犓犻ｒｅｄｕｃｅｓｔｈｅａｃｃｕｍｕｌ ｔｏｎｅｒｒｏｒｓｂｒｏｕｇｈｔｂｙｔｈｅｏｐｅｒａｔｎｇｅｎｖｉｏｎｍｅｎｔｓ． 犓犲狔狑狅狉犱狊：Ｋ９ｇｌａｓｓ；ｕｂｓｕｒｆａｃｅｄａｍａｇｅ；ｌａｐｐｉｎｇ；ＨＦａｃｄｅｔｃｈｉｎｇ；ｓｔｅｐｂｙｓｔｅｐ