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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 (( ’ $$B ’ ， ， ， IF 8(( 3I 8 ’ T25L^ $$B （ ） !$$$.’=$6$$B6(( $’ 6 !%$:.$B VD+V 7Y],/DV ,/3/DV $$B D^@A 8 7^_G 8 ,IL 8 掺!# $ 的%’ 薄膜深能级的研究! ）） ） ） ） ! # ! 宋淑芳 陈维德 许振嘉 徐叙 !）（北京交通大学光电子研究所，北京 !$$$%% ） ）（中国科学院半导体研究所，北京 !$$$’ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） $$( ( !$ $$( !( 利用深能级瞬态谱（ ）、傅里叶变换红外光谱（ ）对 以及 掺 的样品进行了电学和光学特 )*+, -+./0 123 123 45675 性分析 研究发现未掺杂的 样品只在导带下 处有一个深能级； 注入 经 ， 退火后的样 8 123 $ 9:$; 123 45 =$$ ’$?@A 品出现了四个深能级，能级位置位于导带下 ， ， 和 ； 注入 经 ， $ 9’$$ ; $ 9 ! ; $ 9B$$ ; $ 9%!$ ; 123 75 !$($ ’$?@A 退火后的样品同样出现了四个深能级，能级位置位于导带下 ， ， 和 ；对每一个深 $ 9$ ; $ 9 !=$ ; $ 9B!$ ; $ 9’=$ ; 能级的来源进行了讨论 光谱研究表明，掺 的 样品经 ， 退火后，可以观察到 的 处的发 8 45 123 =$$ ’$?@A 45 !(’A? 光，而且对能量输运和发光过程进行了讨论8 关键词： ， ， ，深能级 123 45 75 ： ， ， $()) :$4 :B’$C :’B$* 光过程进行了讨论8 !9 引 言 9 实 验 123 中掺入稀土离子在平板显示以及光通讯中 有广泛的应用前景，因此成为国内外科研人员研究