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维普资讯 199o年 第4期 光 学 机 械 总第 115期 真空紫外镜面反射率、光栅效率 及薄膜光学常数的研究 李福 田 韩 赋 陆 颖 摘要：本文介绍我们研制的真空紫外反射计和偏振器以及所建立的真空紫外镜面反射率 及 光 栅效率飒4试装置。 利用此装置测定了不同工艺条件下 Au、Pt、A1、Al+MgF。四类样品的真 空紫外镜面反射率及光栅的效率，用计算机曲线拟合技术由所测得的反射率和偏振度求得真 空 砦 外薄膜光学常数，井与国外发表的数据进行了比较。 一 、 引 言 软 线—— 真空紫外镜面反射率，光栅效率及薄膜光学常数 (折射率 和消光系数 ) 的研究，在软 线—— 真空紫 外 光 学研究和光学工程 中占有重要的地位 。国外这方面的研 究工作始于本世纪三十年代束 “，但 由于技术上的原因直至六十年代才得到发展。1967年和 1974年美国海军研究实验室Hulburt空间研究中心的W ．R．Hunter相继报导了用于真空 紫外镜面反射率和光栅效率测量的高性能实验装置” ，给出了详尽的误差分析，为 真空紫 外镜面反射率、光栅效率及薄膜光学常数研究奠定了基础。近年来，随着空间光学、等离子 俸物理、同步辐射及 线激光研究的发展，为适应制备软 线——真空紫外高性能光栅和反 射镜特别是多层膜反射镜的需要，软 线——真空紫外镜面反射率，光栅效率及薄膜光学常 数的研究 日趋活跃，利用同步辐射和激光等离子体作光源所建立的性能优异的测试装置已有 十条种 “ ，并有专著讨论固体光学常数。 ’ 为适应国际上的发展及国内空间光学、同步辐射，等离子体物理和 线激光研 究 的 需 要，我们研制了真空紫外反射计和偏振器，建立了真空紫外镜面反射率及光栅效率的掼I试装 置，利用这一装置铡定了不同工艺条件下 Au、Pt、Al、Al+MgFz等四类样品的真空紫 外镜面反射率。用计算机曲线拟合技术给出这四类样品的真空紫外光学常数，并和国外发表的 数据作了比较。用偏振器测定了Seya-Namioka单色仪偏振特性，给 出偏振度P=R，／R ， 并应用于光学常数的求解 中。作为另一应用实例，我们还用这一装置测定了光栅效率 曲线 给 出了测定结果。 二、实 验 装 置 真空紫外反射率测量装置由光源、单色仪、偏振器、反射计及微机系统五部分组成，如 图 1所示。 本装置采用两种光源：真空紫外毛细管惰性气体辉光放 电光源 C简称毛细管光源)和真 空紫外宅阴极气体放 电光源 (简称空阴极光源)。毛细管光源工作 电流 300mA，相 应 电压 维普资讯 一 2 图 l 真空棠外反射率测量装置 l500V， 由高压直流稳流电源供 电，可在3Onot至 200nm产生工作气体 的原子谱线，光谱辐 射稳定性达 ±2％／h 空阴极光源所用工作气体为He，H。，N¨Ar，Ne等，工 作 气 压 1O~orr至 10一torr。工作电流400mA，相应工作 电压 3O0—35OV，触发 电压4000V。能在 20--200nm波段产生丰富的原子和离子谱线，光谱辐射稳定性优于 ±1 ／h。 Seya--Namioka 型真空紫外单色仪的工作波段为 50--500nm ，凹面光栅 曲率 半 径 1ii1，刻线密度为1200线／mm，刻划面积30×50ram ，闪耀波长 150nm，单色仪最高光谱 分辩率为0．04nm，波长精度 ±0．05nm，波长重复性 ±0．05rim。单色仪配有真空机组，可手 动或 自动操作，单色仪内真空度好 于 5×10 torr。由步进电机通过正弦机构转动光栅以完 成渡 艮扫描。步进电机 由驱动器经IEEE--488接 口与 IBM—PC微机相连，在微机控制下 运行。 反射型真空紫外偏振器原理如图2所示，反射镜 和 。镀金，分别充当起偏器和检偏