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设备与维修
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真空镀膜机的原理及故障分析#
陈 敏 王存华
南京电子器件研究所 南京
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年 月 日收到
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摘 要 真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制过程中广泛使用的设备 本文就
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电子束真空镀膜设备在实际工作中出现的主要故障进行分析 并给出故障排查的方
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关键词 真空镀膜 高压电源 维修
中图分类号3 ,(678 文献标识码3
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文章编号3’((60+88 $((*(0(’’+0(6
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出现的故障也能提供帮助 从而提高科研生产的效
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这类镀膜机的原理和出现的故障进行分
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真空镀膜设备是电子工业元器件生产和研制
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