薄膜特性的掠发射射线荧光分析.pdfVIP

第 卷，第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 ， ， ! # $% ’ ! (% ’ # ))**++,*!-! 年 月 . /012%30% 567 . /0125 865 393 ， ! - - * ! ) )4 ) 4 :/0/;/2 !-- !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 薄膜特性的掠发射 射线荧光分析 ! * * * ! * 巩 岩 ，陈 波 ，尼启良，赵红颖 ，曹健林 * ’ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林 长春 *--!! ! ’ 北京大学遥感与地理信息研究所，北京 *--= * 摘 要 掠射 射线荧光分析技术是实验室分析薄膜特性的一种重要工具。文章简述了利用掠出射 射线 ? ? 荧光技术分析薄膜厚度的原理和方法，介绍了一种可在实验室里实现薄膜特性测试的掠发射 射线荧光分 ? 析装置，该装置采用波长色散方式结合超薄窗流气正比计数管，可实现对轻元素的探测。最后从理论上计算 了 片上不同厚度的几种单层薄膜的 射线荧光强度和掠出射角的依赖关系。证明了掠发射 射线荧光分 .9 ? ? 析是一种精确的分析薄膜厚度等特性的方法。 主题词 ? 射线荧光分析；薄膜；掠发射 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） @A*’ * 8 *,-B+ !-- -#, **++,-A 的表面，所以穿透深度较深，可以对深达几百纳米的膜层进 引 言 行分析，且由于其布局方面的优点，可以结合微束扫描技术 ［］ 用于薄膜表面的二维样品分析# 和薄膜制备过程中薄膜厚 掠射 射线荧光（ ）分析技术因具有快速、准确 度的现场监测。 ? CD?EF 和无损分析的特点，被认为是最精确的用于薄膜厚度、密度 本文探讨了掠出射 ? 射线荧光分析薄膜厚度的原理和 ［］ 和组分测试的工具之一 * ，尤其可用于薄膜制备过程中的现 方法，给出了 射线荧光强度和薄膜厚度的关系曲线，介绍 ? ［］ 场监测! 。薄膜厚度是一个重要的参数，在薄膜制备时需要 了一种我们在实验室搭建的掠出射? 射线