凝胶法Er薄膜的结构和光学特性.pdfVIP

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第 卷第 期 光 子 学 报 39 7       Vol.39No.7 年 月              2010 7 Jul2010 ACTAPHOTONICASINICA y 文章编号: ( ) 1004421320100712133 溶胶 凝胶法 薄膜的结构和光学特性  ErO 2 3 1 2 1 王兴军 ,董斌 ,周治平 ( 北京大学 区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室,北京 ) 1 100871 ( 大连民族学院 理学院 光电子技术研究所,辽宁 大连 ) 2 116600 摘 要:针对稀土 掺杂 光源中 离子掺杂浓度低的问题,采用溶胶 凝胶( )法在 Er Si Er  Solel Si   g ( )和 / ( )基片上旋涂法制备 光学薄膜, 离子浓度与以前掺杂方法相比提高 100 SiO Si100 ErO Er 2 2 3 了 个数量级 热处理获得单一立方结构的 薄膜材料 光致发光( )特性研究表明 2 .900℃ ErO . PL 2 3 在 波长的激光泵浦下, 薄膜材料获得了 的发光峰,并具有较小的温度猝灭 654nm ErO 1.535 m 2 3 μ / 在 / ( )基体上制备的 薄膜材料的光致发光强度比 ( )基体上制备的薄膜 15. SiO Si100 ErO Si100 2 2 3 提高 倍 研究结果表明具有强光致发光特性的 薄膜是一种有前景的硅基光源和放大器 23 . ErO 2 3 材料. 关键词:发光学;光学薄膜;溶胶 凝胶法;氧化铒  中图分类号: 文献标识码:

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