二元位相型光栅分束器的改进设计方法.pdfVIP

二元位相型光栅分束器的改进设计方法.pdf

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第 11 卷  第 6 期 光学 精密工程 Vol . 11  No . 6 2003 年 12 月    Optics and Precision Engineering   Dec . 2003 ( ) 文章编号  1004924X 2003 二元位相型光栅分束器的改进设计方法 1 ,2 3 1 1 1 1 鲁建业 , 马玉刚 , 申作春 , 董蕴华 , 高惠德 ,马祖光 ( 1. 哈尔滨工业大学 光电子技术研究所 ,黑龙江 哈尔滨 15000 1 ; 2 . 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室 ,吉林 长春 130033 ; 3 . 吉林大学 物理学院 ,吉林 长春 130023) 摘要 :为改进传统分束光栅的设计中不考虑光栅的实际周期长度 、光栅深度 、基底厚度等因素对各透射级次光波振幅的 影响 ,设计结果与实际制作光栅的分束效果相比差距较大的不足之处 ,基于矢量衍射理论 ,提出了光栅分束器的改进设 计方法 。改进前后的主要不同之处在于计算透过率函数时是否考虑光栅实际参数对入射光的影响 。由于比传统方法的 设计基础更严格 ,因而从与实验结果的对比情况看 ,改进方法提高了设计结果与实际情况的符合程度 。 关  键  词 :光栅分束器 ; 矢量衍射理论 ; 改进方法 中图分类号 :O436 . 1   文献标识码 :A Improved design of spl itters L U J ianye1 ,2 , MA Yugang3 , SHEN Zuochun1 , DON G Yunhua1 , GAO Huide1 , MA Zuguang1 ( 1. I ns t it ute of Op toelect ronics , H arbi n I ns t it ute of Tech nology , H arbi n 15000 1 , Chi na ; 2 . The S t ate Key L ab of A p p l ied Op t ics , I ns t it ute of Op t ics an d Fi ne M echanics , Chi nese A cademy of S cience , Changch u n 130033 , Chi na ; 3. I ns t it ute of Phys ics , J il i n Univers ity , Changch u n 130023 , Chi na) Abstract : An imp roved design of splitter s has been p ropo sed using t he vector diffraction t heory to narrow t he gap between t he design and t he splitting effect due to t he fact t hat t he real period lengt h , grating dept h and subst rate dept h are not considered in t he t raditional splitter design . The major difference between t he t raditional design and t he imp roved design lies in whet her t he effect of t he real grati

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