甲烷流量对类金刚石薄膜氢含量和性能的影响.pdfVIP

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2017-09-16 发布于重庆
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甲烷流量对类金刚石薄膜氢含量和性能的影响.pdf

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第卷第期武汉理工大学学报 35 5 Vol.35 No.5 JOURNALOFWUHANUNIVERSITYOFTECHNOLOGY Ma.2013 年月 y 2013 5 췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍 : / doi10.3963 .issn.1671-4431.2013.05.002 j 甲烷流量对类金刚石薄膜氢含量和性能的影响 ,, ,, , ,, 123 123 12 123 , , , 黄星烨孙瑶张保军汪洪 ( , ; , ; 1.中国建筑材料科学研究总院北京 1000242.国家玻璃深加工工程技术中心北京 100024 , ) 3.绿色建筑材料国家重点实验室北京 100024 : ( ) , , 摘要采用射频等离子体增强化学气相沉积法固定甲烷气压为变化甲烷流量 RF-PECVD 1.33Pa 30~ ( ) , 、 100sccm在玻璃上制备了一系列类金刚石 DLC薄膜采用残余气体分析仪拉曼光谱和椭偏仪测试手段分别研究了甲、 , 。烷等离子体中氢分压的变化 DLC膜中的氢含量和 DLC膜的光学性能采用摩擦磨损仪研究了DLC膜的耐摩擦性能 , , , 结果表明随甲烷流量的增大甲烷等离子体中的氢分压和 DLC膜中的氢含量减小光学带隙从 1.77eV减小到。 , 1.65eV 在 300~2500nm的波长范围内折射率随流量的增大而增大中心波长 550nm的折射率从 2.11增加到。 , , 2.15 普通玻璃的摩擦系数约为1.2而镀有DLC膜的玻璃的摩擦系数下降到0.4甲烷流量为 60sccm时制备的DLC 膜耐磨性最佳。 : ; ; ; ; ; 关键词类金刚石薄膜氢分压拉曼光谱摩擦性能光学带隙折射率中图分类号: 文献标识码: 文