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第 33 卷第 5 期 硅 酸 盐 学 报 Vol . 33 , No . 5
2 0 0 5 年 5 月 J OU RN AL OF T H E C H IN ESE CERA MIC SOCIE T Y May , 2 0 0 5
医用不锈钢表面沉积类金刚石薄膜的电化学腐蚀性能研究
1 ,2 1 ,2 2 1 ,2
刘成龙 , 杨大智 , 邓新绿 , 齐 民
( 1. 大连理工大学 , 三束材料表面改性国家重点联合实验室 ; 2 . 大连理工大学材料系 , 大连 116024)
摘 要 : 医用 3 16L 不锈钢植入物植入体内后 ,体内环境可导致其产生腐蚀和 Ni 离子的析出。利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入
( ) (
设备 ,采用等离子体源离子注入 pla sma source ion implant ation , P SII 和等离子体增强化学气相沉积 pla sma enhanced chemical vapor depo si
tion , P ECVD) 复合工艺在医用 3 16L 不锈钢表面沉积类金刚石薄膜 ,进行表面改性 , 以提高其在模拟体液环境中的腐蚀阻抗 。扫描电子显微
镜和原子力显微镜观察发现 ,薄膜由纳米粒子构成 ,膜层连续光滑 。电化学腐蚀测试表明:采用 PSII + P ECVD 复合工艺制备的类金刚石薄膜
( )
与 3 16L 不锈钢改性体系在 37 ±1 ℃的 Troyde ’s 模拟体液中的自腐蚀电位约为 120 mV ,体系的击穿电位超过 1. 9 V ,与基体 3 16L 不锈钢相
比,其热力学稳定性与抗腐蚀性能得到增强 ,改性效果优于单独的 P ECVD 工艺 。
关键词 : 等离子源离子注入 ; 等离子增强化学气相沉积 ; 类金刚石薄膜 ; 医用不锈钢 ; 抗腐蚀性 ; 模拟体液
( )
中图分类号 : T G174 . 445 ; T G174 . 3 文献标识码 : A 文章编号 : 0454 5648 2005 05 0559 05
EL ECTROCHEMICAL CORROSION BEHAVIOR OF AMORP HOUS D IAMONDL IKE
CARBON FILM COATED BIOMED ICAL STAINL ESS STEEL
1, 2 1, 2 2 1, 2
L I U Cheng long , YA N G D az hi , D E N G X i nl ü, QI M i n
( 1. St a
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