硬金屬薄膜厚度對磨潤性質監控之研究.pdfVIP

中國機械工程學會第二十三屆全國學術研討會論文集 崑山科技大學 台南、永康 中華民國九十五年十一月二十四日、二十五日 論文編號： A6-017 硬金屬薄膜厚度對磨潤性質監控之研究 1 2 3 1 4 4 張育斌 、蔡齊峻 、謝幸幟 、陳長仁 、賴煒昌 、陳信良 1 崑山科技大學機械工程學系助理教授 2 台南高工汽車科實習教師 3 崑山科技大學機械工程學系研究生 4 崑山科技大學機械工程學系專題生 國科會計畫編號： NSC-94-2212-E-168-005 並且，萱場孝雄【10-11】亦曾以連續之摩擦係數變 摘要 化研究鎳薄膜固體潤滑性及接觸電阻等。更進一步 本文使用連續摩擦帶電變化的新穎方法作為監 地，由於鐵及鎳薄膜之黏著 鎳薄膜及銅之情況 控硬金屬薄膜間磨潤性質之研究。除了探討硬金屬薄 【12】，符合本論文所設定之研究主題目標。因此， 膜間之磨潤性質外，並研究不同硬金屬鍍層之膜厚對 本研究擬以Fe/Ni-film/Cu配對的方式，探討以連續摩 以磨擦帶電變化作為動態監控之影響。根據動態量測 擦帶電之變化判定內層界面滑移之可行性，並與以摩 摩擦係數及摩擦帶電的實驗結果，並配合磨耗損失及 擦係數連續監控的傳統方式作比較。本研究之目標在 磨耗顆粒之SEM照片觀察，研究以連續摩擦帶電之變 於進一步觀察不同薄膜厚度下連續摩擦帶電之變 化判定內層界面之滑移現象。 化，作為各種薄膜厚度破裂現象參考依據。 通常，由於摩擦係數對硬金屬薄膜之滑動距離的 連續變化非常不穩定。而且，因為摩擦係數之值總是 顯示正值，無法從多層膜中判斷滑移發生在哪一層 2.實驗設備與程序 的。然而，透過正或負極性的摩擦帶電電位之連續變 往復摩擦試驗機暨量測系統如先前的論文 化，卻可能從多層膜中觀察出滑移實際發生在哪一界 【3-7】。選擇鐵(Fe)為上試片材料。下試片以電鍍方 面層。因此，本研究之目標在於探討固定垂直負荷下 式在銅(Cu)表面上形成鎳(Ni) 薄層。上試片及下試片 各種薄膜厚度的固體潤滑性質。並且精確的評估硬金 形狀如圖所示，材料性質如表2 所示。值得注意的是1 屬薄膜之固體潤滑性。最後，本研究提出鎳金屬薄膜 電鍍後的鎳薄膜硬度可達 550HV 以上。而且，由表1 在不同薄膜厚度的摩擦帶電及磨耗之連續變化機制。 可知 Fe/Ni及Ni/Cu配對均具互熔性。根據 Rabinowicz