Jan,2001类金刚石碳膜的摩擦学特性及其研究进展.pdfVIP

第 2 1 卷　第 1 期 摩 擦 学 学 报 2 1, 　 1 V o l N o 200 1 年 1 月 TR IBOL O GY J an , 200 1 类金刚石碳膜的摩擦学特性及其研究进展 1, 2 2 1 1 2 李刘合 , 夏立芳 , 张海泉 , 张彦华 , 周志敏 ( 1. 北京航空航天大学 702 教研室, 北京　100083; 2. 哈尔滨工业大学 材料学院, 黑龙江 哈尔滨　15000 1) 摘要: 从类金刚石碳膜作为耐磨涂层的角度出发, 综述了近年来国际上关于类金刚石碳膜摩擦学特性的大量研究, 着 重讨论了影响类金刚石碳膜摩擦学特性的主要工艺参数和因素, 阐明了类金刚石碳膜与金刚石膜在性能上的差异, 指 出了类金刚石碳膜的发展现状和趋势. 关键词: 金刚石膜; 类金刚石碳膜; 摩擦学特性 ( ) 中图分类号: T G 174. 44; TH 117. 1 文章标识码: A 文章编号: 200 1 0 1007605 　　类金刚石碳膜(d iam on d lik e carbon f ilm s, 简称 　　类金刚石碳膜内部含有金刚石结构的sp 3 杂化 DL C f ilm s) 是一类硬度、光学、电学、化学和摩擦学等 键和石墨结构的sp 2 杂化键, 这些键呈短程有序排 特性类似于金刚石的非晶碳膜. 自80 年代以来其作 列, 一般由sp 2 键连接成单个的或者破碎的环, 构成 ( ) 为新型保护材料一直是各国镀膜技术领域研究的热 类似于石墨层状结构的小“聚束” . 在这些聚 clu ster 点之一. 近年来我国在这方面的研究同关于金刚石膜 束的边界存在无规排列的具有碳碳电子轨道的sp 3 [ 1～ 4 ] 的研究一样取得了长足进展 . 金刚石膜由大量金 杂化结构. 但从整体结构来看, 类金刚石碳膜仍然表 刚石 晶粒构成, 其表面整体较粗糙. B u chk rem er 现为典型的非晶结构, 这可由其相应的喇曼光谱得以 等[ 5 ] 采用 法在 型 证实[ 10, 11 ]. 如图 1 所示, 由于金刚石内部价电子的杂 H erm ann s MW ECR PA CV D p ( 111) 取向硅片上制得的厚 10 m 的金刚石膜的表 　　　 面粗糙度为 0. 5 m. 要将金刚石膜用于摩擦学和光 学等领域则必须对其进行抛光预处理[ 6, 7 ]