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2007A2045 BL39XU 垂直記録用単磁極ヘッドの磁化挙動に関する研究 Study on Magnetization of Single-Pole-Type Head for perpendicular Magnetic Recording 田口 香，近藤 祐治，千葉 隆 Kaori TAGUCHI, Yuji KONDO, Takashi CHIBA 秋田県産業技術総合研究センター Akita Prefectural RD Center 垂直磁気記録用単磁極ヘッドの主磁極の磁化挙動を調べるため，大型放射光施設 SPring-8 のBL39XU を使って，X 線磁気円二色性を利用した磁化測定を行った．薄膜単磁極ヘッドの媒体対向面に，擬似 的な媒体裏打ち層として軟磁性膜を形成した試料を用いた．擬似裏打ち層を透過して下層に位置する 微小な主磁極の磁化を測定するため，浸入深さの大きい硬 X 線を集光させて試料に照射した．擬似裏 打ち層が存在する状態においてもヘッド主磁極の磁化挙動を観察できることが分かった． We have tried to measure the magnetization of a main pole of a single-pole-type head for perpendicular magnetic recording. An undulator beamline BL39XU in SPring-8 was used. To detect the magnetization of the main pole on which a soft magnetic film as a pseudo soft backlayer of the recording medium was deposited, the method of hard X-ray magnetic circular dichroism (XMCD) with focused high resolution beam was used. Since, the hard X-ray could penetrate through the pseudo soft backlayer. The magnetic behavior of the head main pole was measured with the XMCD method in the presence of the pseudo soft backlayer. キーワード：垂直磁気記録，単磁極ヘッド，軟磁性膜，X 線磁気円二色性，元素選択磁化測定 背景と研究目的 単磁極ヘッドと二層膜媒体を を目的とした．擬似的な媒体裏打ち層として軟 組み合わせた垂直磁気記録方式において，単磁 磁性膜をヘッド表面に形成した試料を作製し， 極ヘッドの記録特性は主磁極の磁化挙動に強く 裏打ち層の下層に位置するヘッド主磁極の磁化 依存する．二層膜媒体の軟磁性裏打ち層はヘッ を直接測定することを試みた．裏打ち層を透過 ドとの磁気回路の一部として重要な役割を担っ させるためにμmオーダーの浸入深さを特徴とす ており，裏打ち層の存在する状態での主磁極の る硬X線を用い，さらに，主磁極先端の微小領域 磁化状態を把握することは，今後のヘッド設計 の測定を行うためにμmオーダーまで集光させた． に有用な指針を与えると考えられる． 実験・解析方法 試料は，図1に示す単磁極ヘッ これまで，電子線トモグラフィ1) 2) 4) やカー効果 ド を用いた．主磁極およびリターンヨークには な