一种玻璃微流控芯片的实用制作工艺研究.pdfVIP

第 22 卷第 6 期 分 析 科 学 学 报 2006 年 12 月 Vol . 22 　No . 6 J OU RN AL O F AN AL YTICAL SCIEN CE Dec . 2006 文章编号 :10066 144 (2006) 06067 104 一种玻璃微流控芯片的实用制作工艺研究 1 ,2 2 2 2 1 刘海军 , 杜立群 , 刘 　冲 , 刘军山 , 徐 　征 ( 1. 教育部精密与特种加工技术重点实验室 , 大连理工大学 , 辽宁大连 116023 ; 2 . 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室 ,大连理工大学 , 辽宁大连 116023) 摘 　要 :本文提出了一种在商品化的 SG4009 玻璃上制作 50 ×50 mm 微流控芯片的方法 。 SG4009 玻璃表面有厚度 570 nm 的光刻胶 S1085 和厚度 145 nm 的 Cr 层组成的掩蔽层 , 省去制作掩蔽层的时间和设备 ,降低了生产成本 ,缩短了生产周期 。对芯片制作过程中的 一些问题进行分析研究 ,提出相应的解决方案 ,保证了芯片的制作质量 。 关键词 :玻璃微流控芯片 ; 湿法刻蚀 ; 热键合 中图分类号 :O657 . 8 　　　文献标识码 :A 1 　前言 [ 1 ] 随着微细加工技术的发展 ,上世纪 90 年代初期 , Hor ri son 等人 利用以湿法刻蚀为主的加工技术在 玻璃基片上制作微通道 ,将传统毛细管电泳技术移植到玻璃芯片上 。与常规的毛细管电泳相比,具有散热 性能好 ,分离电压高 ,分离速度快以及分离效果好等优点 。由于玻璃有良好的光学和电渗等性能 ,十多年 来 ,玻璃微流控芯片的研究得到重视 , 已经被广泛应用于电泳和色谱分离 。 玻璃芯片的优点在于 :材料容易获得 ,制作设备与传统的 IC 工艺设备兼容性好 ;透光性好 ,检测时产 生的背景荧光远远小于有机聚合物[2 ] 。近年来 ,报道了一些制作玻璃芯片的工艺方法[2 ,3 ] 。但是多数研究 采用的玻璃基材需要抛光及涂覆掩蔽层 ,价格昂贵 ,虽然有用商品化的玻璃制作芯片的报道 ,但是芯片的 面积较小 。笔者通过实验研究 ,利用商品化的 S G4009 玻璃制作了 50 ×50 mm 的玻璃微流控芯片 , 降低 了成本 ,为产业化打下基础 。 2 　玻璃微流控芯片的制作工艺 图 1 为玻璃微流控芯片的制作过程 。具体的制作工艺分为六个步骤 。 2 . 1 　掩模的制作 采用 GCA3600 图形发生器制作掩模 。在掩模材料表面均匀地涂上一层对光敏感的光刻胶 ,用计算 机制图软件绘制微流控芯片的设计图形 ,再通过专用的接口电路控制图形发生器进行光刻 ,即可获得所需 μ 图形的掩模 。掩模图形的线宽精度和线距精度可达到 ±0 . 5 m ,满足了芯片制作的精度要求 。 2 . 2 　光刻 本研究采用商品化的 S G4009 匀胶铬版玻璃作基片 ,玻璃表层涂有厚度 145 nm 的 Cr 层和厚度 570 nm 的光刻胶 S1085 。将掩模版与匀胶铬版玻璃对正后放于光刻机上曝光 ,显影后匀胶铬版玻璃面上形 成所需图形 。 2 . 3 　湿法刻蚀 在 Cr 的腐蚀液中浸泡 30 s 去除光刻图形底部的 Cr 层 ,之后用去离子水冲洗 2 min ,清洗烘干 。此时 收稿 日期 :　　　修回日期 : 20060 104 ( ) 基金项 目: 国家 863 高技术研究发展计划 M EM S 重大专项 No .