转镜振镜的非线性及非对称性研究.pdfVIP

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2017-09-15 发布于重庆
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第31卷第3期光电工程 Vol.31,No.3 2004年3月 Opto-Electronic Engineering March,2004 文章编号：1003-501X （2004 ）03-0026-03 转镜-振镜扫描的非线性及非对称性研究 1,2 3 1 1 1 1 胡居广 , 李学金，张百钢，徐德刚，王鹏，姚建铨 (1.天津大学精密仪器与光电子工程学院激光及光电子工程研究所，天津 300072 ；2 ．深圳大学师范学院物理系，广东深圳 518060 ； 3 ．深圳大学理学院，广东深圳 518060 ）摘要：根据几何光学原理，推导出转镜-振镜扫描系统物镜前振镜上光斑移动速度的解析表达式。系统本身的结构特点是产生扫描非线性和非对称性的根源，并会引起图像畸变。对设计的40 面，半径40mm，转速为23437.5rmin-1 的转镜-振镜系统的数值计算结果表明，行扫描中最大速度差约为6m.s-1，时间对称中心从32µs 改变到约30.7477µs 。此结果可作图像畸变修正的参考。关键词：转镜-振镜二维扫描；非线性扫描；非对称性扫描；光斑中图分类号：TN911.74 文献标识码：A Study on nonlinearity and asymmetry of polygonal mirror scanning 1,2 3 1 HU Jü-guang , LI Xue-jin , ZHANG Bai-gang ， 1 1 1 XU De-gang , WANG Peng , YAO Jian-quan (1. College of Precision Instrument and Opto-Electronics Engineering, Institute of Laser and Opto-Electronics , Tianjin University, Tianjin 300072, China; 2. Department of Physics , Normal College, Shenzhen University, Shenzhen 518060, China; 3. College of Physics , Shenzhen University, Shenzhen 518060, China) Abstract: An analytical expression for spot moving speed on the former vibrating mirror of the polygonal mirror scanning system objective is derived from geometrical optical principle. The structural characteristics of the system are the origin for creating scanning nonlinearity and asymmetry, and they will cause image distortion. T