旋转棱镜在主动式几何光学测量法中的应用.pdfVIP

　　　　 第 5 卷　第 4 期 光学　精密工程 . 5, . 4 V o l N o 1997 年 8 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G A u gu st, 1997 旋转棱镜在主动式几何光学测量法中的应用 谭卫军　　陈桂林 ( 中国科学院上海技术物理研究所, 上海 200083) 　　摘要　几何光学方法是一类重要的测量方法, 与光电技术相结合, 它具有精度高、 响应快、可实现现场实时控制和非接触等优点。但它一直受到照明和成像系统的双重散 焦问题的困扰, 它不仅使系统测量精度和范围受到限制, 甚至在大范围时可能使系统完 ( ) 全失效。本文提出一种利用旋转棱镜对光束进行变换方法, 它能使平行光 或高斯光 在 ( ) 一较大的空间范围内保持优越的聚焦性能 或近似当光线处理 , 可使系统在保证高精 度的同时提高测量范围。 关键词: 几何光学; 旋转棱镜; 无衍射特性; 散焦; 光束变换 1　引　　言 　　几何光学方法是一类重要的非接触测量方法。它可用于长度、位移、距离、厚度、直径及三 维尺寸等几何量的测量, 在现代化的工业生产中得到广泛的应用。由于近年来高质量新型光源 ( ) ( ) 尤其是激光 和位置探测器 如 P SD 和 CCD 的不断发展和改善, 使得以经典光学三角法为 基本原理的各种测量法的性能得到不断提高, 测量精度、动态范围、灵敏度、响应时间都有较大 改善。但由于被测 目标几何特性和光学系统特性, 尤其是散焦问题的影响, 其性能的进一步提 高受到限制。如厚度测量中的光学三角法和物体表面的扫描成像法, 都存在这类问题。 旋转棱镜是近年来得到广泛应用的一种光学部件。它优越的光束和能量变换特性使它在 激光打孔方面得到迅速推广。这主要是利用它的使能量高度集中的性能, 但它同时有着优越的 光线和能量转换性能, 使它在几何测量方面有着一定的应用前景。但以前这一优良特性并未被 充分运用。 鉴于此, 考虑到几何光学成像对光源的要求, 我们把旋转棱镜引入到入射光路中, 利用它 的无衍射特性减小散焦来提高测量范围。同时, 激光散斑噪声对测量精度造成的限制也因物方 光斑尺寸减小而有相应减小, 精度有所提高。 收稿 日期: 1997 年 3 月 26 日 4 期 谭卫军　等: 　旋转棱镜在主动式几何光学测量法中的应用　　　　　　　　　 113 2　旋转棱镜的光束变换特性 2 1　单个旋转棱镜的光束变换特性 旋棱镜又称轴棱镜。它是一种锥形光学部件, 具有与球面透镜完全不同的会聚和发散光束 ( ) ( ) 的作用。旋转棱镜有正负两种类型, 其截面分别如图 1 、 、 所示。旋转棱镜之所以得到广 a b c ( ) 泛的应用是因为它对平行光 或高斯光 的变换作用。下面主要分析棱镜的性能。