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2017-09-15 发布于重庆
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OPTO22SNAPPAC在单晶炉控制系统的应用.pdf

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OPTO 22 SNAP PAC 在单晶炉控制系统的应用设计单位：江苏华盛天龙光电设备股份有限公司（股票代码 300029）公司地址：江苏省金坛市华城路 318 号主控制器：采用美国 OPTO22 公司生产的 SNAP-PAC-R1 控制器该控制系统运用美国 OPTO22 公司生产的 SNAP-PAC-R1 控制器，模拟量输入输出模块，数字量输入输出模块和高速输入等模块，实现了温度的 PID 控制，替代了原欧陆温控器；晶体等径生长的自动控制以及多个配方的自动运行等功能。满足了单晶生长的各项技术要求，得到了客户的认可，该设备 2009 已经投入批量生产，到目前为止系统运行正常。该控制器系统具有结构简单，安装方便，故障率低，易操作等优点。下面是85 型单晶炉系统的一些控制画面 1.主控制画面该画面实现了所有运动部件以及温度系统的控制，并显示了实际的运行数据，从现场多次的测量验证结果显示：各项精度指标均完全符合客户要求。 2 历史曲线画面 3 工艺配方画面下图是 85 型单晶炉在现场的使用照片