固体催化剂的研究方法第九章表面分析方法中.pdfVIP

石 　　油 　　化 　　工 　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　 　 4·14 · PETROCHEMICAL TECHNOLO GY 2001 年第 30 卷第 5 期 讲 　座 固体催化剂的研究方法 ( ) 第九章　表面分析方法 中 黄 　惠 　忠 (北京大学 化学与分子工程学院 ,北京 100871) 2 　俄歇电子能谱 1925 年俄歇首次发现俄歇 电子 , 并 以他 的名字命名 。 20 世纪 50 年代有人首次用电子作激发源 ,进行表面分析 , 并从样品背散射电子能量分布中辨认出俄歇谱线 。但是由 于俄歇信号强度低 ,探测困难 , 因此在相当长时期未能得到 实际应用 。直至 1967 年采用电子能量微分技术 ,解决了把 微弱的俄歇信号从很大的背景和噪声中检测出来 ,才使俄歇 ( ) 电子能谱 Auger Electron Spectroscopy ,AES 成为一种实用 ( 的表面分析方法 。1969 年使用筒镜分析器 Cylindrial Mirror Analyser ,CMA) 后 ,较大幅度地提高了分辨率 、灵敏度和分 析速度[ 69 ] ,AES 的应用 日益扩大 。到了 70 年代 ,扫描俄歇 ( ) 微探针 Scanning Auger Microprobe ,SAM 问世 ,俄歇电子能 谱学逐渐发展成为表面微区分析的重要技术 。尔后 ,采用高 亮度电子源 、先进电子光学系统 、各类能量分析器 、包括半球 图 12 　俄歇电子 、荧光 X 射线和光电子三种发射过程示意图 ( ) 形能量分析器 Hemispherical Analyser , HSA 以及新型检测 系统 ,加之计算机控制及数据处理能力的扩大与提高 , 使 2 3 　俄歇效应 AES 的应用扩大到许多重要的科学领域 ,包括固体催化这一 ( ) 在一定能量的电子 或光子 轰击下 ,使原子内壳层电子 重要应用领域 。 电离 ,形成具有初态空位的激发态离子 。此时处于激发态的 2 1 　基本原理 离子恢复到基态的退激发 ,可以经过两种竞争的过程 。 用一定能量的电子 ( 或光子 ,在 AES 中一般采用 电子 ( 1) 辐射跃迁过程 :发射 X 射线荧光 。受激离子中 ,较 ) 束 轰击样品 ,使样品原子的内层电子电离 ,产生无辐射俄歇 高能级上的电子充填空位 ,原子在能量弛豫过程中以发射 X 跃迁 ,发射俄歇电子 。由于俄歇电子特征能量只与样品中的 射线荧光形式释放能量 ,终态原子呈单电离状态 。此过程可 原子种类有关 ,与激发能量无关 , 因此根据电子能谱中俄歇