电泳淀积图形化碳纳米管场发射阴极及其场发射特性研究吕文辉.pdfVIP

维普资讯 第 27卷 第3期 真 空 科 学 与 技 术 学 报 2ff)7年 5、6月 C瑚 ESEJ0U AL0FVACUUM SCIENCEAND IECHN0L0GY 213 电泳淀积图形化碳纳米管场发射阴极 及其场发射特性研究 吕文辉 ， 宋 航 金亿鑫 赵 辉 ， 赵海峰 李志明 蒋 红 缪国庆 刘乃康 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 130033；2．中国科学院研究生院 北京 100039) ElectrophoreticDepositionandFieldEmissionCharacteristics ofPatternedCarbonNanotubeCathode LuWenhui1,2,SongHang ，JinYixin，ZhaoHui1,2ZhaoHaifeng， LiZhiming，JinagHong，MiaoGuoqingnadLiuNmknag f1．研 LaboratoryofExcitedStateProcesses，ChangchunInstituteofopts，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademy ＼ofSciences，Changchun130033，China；2．GraduateschooloftheChineseAcademyof~ nees，t~j／n／g100039，China ， Abstract Patterenedcarbonnanotube(CNTs)cathodehasbeensuccessfttUyfabricatedbycombiningelectrophoresisandby integrated circuit(IC)technology．ThehighvoltageactivationconsiderbalyimproveshtefieldemissioncharacteristicsofhteCNTcahtode，nicludingallon_ setelectricfieldof2．1V／innandacurrentdensityof 1．19mA／cm2atna electricfieldofabout6V／tan．Twophysicalfeasons accountf0r improvements．Oneishtat hteactivationfavorablymodi~eshtesurfacemorphologyofCNTsfilmsnadincreaseshteenhnacementfactor，hteoth— eristhatfielddesorptionof gasesfrom CNTswallslowershtesurfaceworkfunction． Keywords Carbonnnaotubes，Fieldemissioncathode，Electrophoreticdeposition，Electronfieldactivation，Physical mechna ism 摘要 基于电泳和半导体工艺，制备了图形化的碳纳米管场发射阴极。用较高的电场激活碳纳米管薄膜 ，使得碳纳米管 的场发射特性有了很大的改善，讨论了这一激活过程的物理机制。研究表明，这一激活过程可能的物理机制一方面是 由于碳 纳米管薄膜表面形貌发生了变化，增大了碳纳米管的场增强因子；另一方面是 由于碳纳米管表面吸附的气体脱附，降低 了碳 纳米管的表面功函数。电场激活处理后 ，碳纳米管薄膜的开启 电场为2．1V／inn，应用电场为 6V／inn时，电流密度达到 1．19 mA／cm2 。 该图形化的碳纳米管场发射阴极可以应用到高分辨率场发射显示器。 关键词 碳纳米管 场发射阴极 电泳淀积 电场激活 物理机制 中图分类号：0462．4 文献标识码：A 文