预处理气氛对电子束蒸发制备YBCO和结构的影响.pdfVIP

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2017-09-15 发布于重庆
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预处理气氛对电子束蒸发制备YBCO和结构的影响.pdf

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低温与超导超导技术 Cryo．＆ Supercond． 4 1 2 Superconductivity Vol． 4 1 No． 2 第卷第期预处理气氛对电子束蒸发制备YBCO 薄膜性能和结构的影响，，，，，王连红舒勇华刘崇李帅辉李保林樊菁 ( ， 100190) 中国科学院力学研究所高温气体动力学重点实验室北京 : YBCO ; 、X 摘要采用先电子束沉积后退火的两步法制备超导薄膜根据薄膜的超导临界电流密度射线衍射 (XRD) (SEM) ， YBCO 、。和扫描电镜的测试结果研究了不同预处理气氛对薄膜结构表面形貌及超导性能的影响 :YBCO ; ; ; 关键词电子束沉积超导薄膜预处理 Effect of pre － annealing on microstructure and properties of YBa Cu O films prepared 2 3 7 － x by E － beam coevaporation Wang Lianhong ，Shu Yonghua ，Liu Chong ，Li Shuaihui ，Li Baolin ，Fan Jing (State Key Laboratory of High Temperature Gas Dynamics ，Institute of Mechanics ，CAS ，Beijing 100190 ，China) Abstract :YBCO superconducting films were prepared by the BaF2 process． In this process ，the precursor films were deposi- ted onto substrate by an electron beam co － evaporation technique． The effect of the pre － annealing atmosphere was investigated by characterization of YBCO films using XRD ，SEM and Jc － scan systrm． Key words :YBCO ，Superconducting films ，Pre － annealing ，Electron beam co － evaporation (Thermal evaporation )、 (EBE ，E － 1 引言电子束蒸发 beam evaporation)、 (MOCVD ，金属有机气相沉积目前国内外对于钇系和铊系高温超导薄膜的 Metal organic c