薄膜粒径对Debye弹性模量的影响.pdfVIP

第 24 卷 第 3 期 鞍 山 钢 铁 学 院 学 报 Vol. 24 No. 3 2001 年 6 月 Journal of Anshan Institute of I. S. Technology Jun. ,2001 薄膜粒径对 Debye 温度和 弹性模量的影响 张九如 (镇江师范专科学校 物理系 ,江苏 镇江　212003) 摘 　要 :通过金属薄膜电阻率的测定 ,得出 Debye 温度和薄膜厚度的关系 ,Debye 温度和薄膜结晶大小的关 系 , 以及弹性模量和薄膜粒晶大小的关系. 金属薄膜用真空蒸发的方法制作. 当基板的温度发生变化时 ,薄膜 的粒子大小也将发生变化 ,基板温度越高 ,薄膜的粒子越大. 关键词 :薄膜 ;粒子 ;Debye 温度 ;弹性模量 ( ) O731 A 　 2001 中图分类号: 　文献标识码 : 文章编号 : 　　薄膜作为物体存在的一种形式 ,在工业生产中具有广泛的应用 ,并且占有重要的地位. 薄膜的厚度 非常小 ,它的一些性质的测量有一定的困难. 一般来说 ,薄膜是附着在一定的基板上的 ,对薄膜性质的测 定必须避免基板的影响 ,这在实际的测定过程中有一定的难度. 本文首先对金属薄膜测定其电阻率对温 度的依存性 ,从而利用最小自乘法计算 Debye 温度和弹性模量 ,从而观察 Debye 温度 ,弹性模量与薄膜 的厚度、粒子大小的关系. 1 　试验方法 11 　薄膜试料的制作 ( ) 　　利用真空蒸发的方法 型号 ULVAC 制作薄膜试料 ,玻璃基板清洗后 ,在表 1 所示条件下进行薄膜 试料的制作. 表 1 　薄膜试料的制作条件 Tab. 1 　Make Condition of Materils Film 金属 基板温度 , t / ℃ 薄膜厚度 , b / nm 蒸发速度 , v / (nm ·s - 1) Al ,Ag 室温 100 ,200 8 - 10 Al ,Ag 100 100 ,200 8 - 10 Al ,Ag 150 100 ,200 8 - 10 Al ,Ag 200 100 ,200 8 - 10 12 　电阻率的测定 　　金属薄膜电阻的测定采用四端子法. 四端子法的优点在于电流端子和电压端子分开 ,避免了接触电 阻 ,提高测量精度. 通过薄膜的截面积和电压端子间的距离可以计算出电阻率 ρ,对金属 Al ,Ag ( 厚度分 ) 别为 100 nm ,200 nm ,基板温度分别为室温 ,100 ℃,150 ℃,200 ℃进行测定. 13 　用 AFM 对薄膜的粒径进行观察 　　通过 AFM 对薄膜表面进行观察 ,并且测定薄膜微粒子的大小. 图 1 所示基板温度分别为 23