微机械热对流加速度计分辨率的影响因素分析.pdfVIP

1 年第 卷第 期 测 试 技 术 学 报 ２０１１ ２５ １ 犞狅犾．２５ 犖狅．１ ２０１１ （总第 期） （ ） ８５ 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犜犈犛犜犃犖犇犕犈犃犛犝犚犈犕犈犖犜犜犈犆犎犖犗犔犗犌犢 犛狌犿犖狅．８５  文章编号： （ ） １６７１７４４９２０１１０１０００１０７ 微机械热对流加速度计分辨率的影响因素分析 李顶根，胡俊强 （华中科技大学能源与动力工程学院，湖北武汉４３００７４） 摘 要： 为进一步提高微机械热对流加速度计的设计精度，从而为加工性能优良、灵敏度高的热对流传感器 提供依据，详细分析了封闭空腔内气体在横轴和纵轴上格拉晓夫数和瑞利数的数量级，判定封闭空腔内气体 流动为层流自然对流，以此为基础采用犉犔犝犈犖犜流体分析软件对热对流加速度计内封闭空腔中气体进行数 值分析，获取了不同单晶硅腔体深度的微机械热对流加速度计的温度场分布。对温度场分布的分析结果表 明，微机械热对流加速度计单晶硅腔体深度为１２００ 犿１５００ 犿时，能获得最高的分辨率，此时两对称布置 μ μ 的热敏元件最大温差大于０．８９℃?。 犵 关键词： 加速度计；热对流；温度场分析；单晶硅腔体深度 中图分类号： 文献标识码： ： 犜犘２１２ 犃 犱狅犻１０．３９６９?．犻狊狊狀．１６７１７４４９．２０１１．０１．００１ 犼 犃狀犪犾狊犻狊狅犳犐狀犳犾狌犲狀狋犻犪犾犉犪犮狋狅狉狅狀犛犲狀狊犻犫犻犾犻狋 狔 狔 狅犳犕犈犕犛犆狅狀狏犲犮狋犻狏犲犃犮犮犲犾犲狉狅犿犲狋犲狉 ， 犔犐犇犻狀 犲狀 犎犝犑狌狀犻犪狀 犵犵 狇 犵 （ ， ， ， ） 犛犮犺狅狅犾狅犳犈狀犲狉 犪狀犱犘狅狑犲狉犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犎狌犪狕犺狅狀 犝狀犻狏犲狉狊狋犻狋 狅犳犛犮犻犲狀犮犲牔犜犲犮犺狀狅犾狅 犠狌犺犪狀４３００７４ 犆犺犻狀犪 犵狔 犵 犵 犵 狔 犵狔 ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋 犐狀狅狉犱犲狉狋狅犻犿狉狅狏犲狋犺犲犱犲狊犻狀 狉犲犮犻狊犻狅狀狅犳犪犕犈犕犛犮狅狀狏犲犮狋犻狏犲犪犮犮犲犾犲狉狅犿犲狋犲狉犪狀犱犿犪犽犲犻狋 狆 犵 狆 ， 狅狊狊犻犫犾犲狋狅 狉狅犮犲狊狊犪犕犈犕犛犮狅狀狏犲犮狋犻狏犲犪犮犮犲犾犲狉狅犿犲狋犲狉狑犻狋犺狅狅犱 狌犪犾犻狋犪狀犱犺犻犺狊犲狀狊犻犫犻犾犻狋