Al2O3薄膜的制备方法及其在太阳电池上的应用.pdfVIP

ofYunnanNormal 云南师范大学学报(自然科学版) Journal University No．2) 2013年3月一33卷2期(V01．33 A1 203薄膜的制备方法及其在太阳电池上的应用。 安家才， 廖华， 梅凤娇， 王建秋， 李石周 (云南师范大学太阳能研究所，教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室， 云南省农村能源工程重点实验室，云南昆明650092) 摘要：氧化铝薄膜因对晶体硅材料具有理想的钝化效果，在晶体硅太阳电池领域被认作是一种优良 的减反射材料。概述了氧化铝薄膜的钝化特性，主要制备方法等研究现状。分析认为：磁控溅射法具有 成膜均匀性好、质量高、沉积速率快、成本低、易控制等诸多优势，因此该方法在太阳电池的工业化领域 具有广阔的应用前景。 关键词：氧化铝薄膜；钝化；减反射；制备方法；太阳电池 中图分类号： TK515 文献标志码： A 文章编号： 1007—9793(2013)02一0020—05 性能。纯的a—A1。O。熔点为2050℃，沸点为2 引 言 980℃，硬度20～30GPa，仅次于金刚石，具有高电 阻率和低导热率，是很好的绝缘材料和绝热材料。 三氧化二铝(Al：O。)大多数以非晶态形式存同时由于其强度和耐热强度都很高而作为高温耐 在[1]。三氧化二铝的结构属于氧化物晶体相A1。火结构材料。7一A1。O。是低温过渡相，容易发生 O。型，离子的排列位置为02-，呈现密排六方结相变，自然界中不能游离存在，除了水硬铝石以外 构排列，A13+规则地分布在八面体间歇中。的各种氧化铝水合物，在500℃脱水后都能转变 A1。O。结构中的A1一O键非常坚固，只有在 成丫一A1zO。，将温度提高到1200℃以上几乎全部 400℃以上氧化时才可能形成晶体，而且温度不 转化为为Q—A1203．从rAl20。转变为a—A1203， zO。、 同，相不同，主要有a—A1。O。、『AL。O。、e-A1比重增加，体积收缩约14．3％．a—A1。O。的比重为 艿一A1zO。、7一A1。O。，当温度在600℃以下一般以 3．98，而rAl203的比重是3．42且化学性质较为 rAl203相存在，在800℃一1000℃范围内旷AL2 活泼，易溶于酸、碱溶液中，吸水性强，储存或运输 ooo℃一1200℃ 03、e-A1203、K-A1203共存，在1 时会吸收大量水分，因而很少单独制成材料 200℃以上 范围内a—A120。和e_A1203共存，在1 使用‘引。 则转化为a—A1。O。，其中，a—A120。、7一A1zO。为最 常见、最典型的两种相，在性质上有着很大的 1 A120s薄膜的制备方法 不同‘2 3|． a—Al。O。晶体，俗称刚玉，是A1。O。族中的高 目前A1。O。薄膜最常用的制备方法有：原子 温稳定相，结构最致密，活性低，是同质相中化学 层沉积法、射频反应磁控溅射法、直流反应磁控溅 性质最稳定的，电学性能最好的，具有良好的机电 射法、电子束蒸发法、阳极氧化法、溶胶凝胶法和 * 收稿日期：2013—02—18 作者简介：安家才(1987一)，男，云南禄劝人，硕士研究生，主要从事光伏电池方面研究．