微系统科技的发展及电化学的新应用.pdfVIP

第 7 卷 　第 1 期 电化学 Vol. 7 　No. 1 2001 年 2 月 EL ECTROCHEMISTR Y Feb. 2001 文章编号 (2001) 微系统科技的发展及电化学的新应用 田昭武 林华水　孙建军　周勇亮　祖延斌　田中群 罗　瑾　林仲华　谢兆雄　胡维玲　胡涌刚　苏文煅 (厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室 　福建 厦门 　361005) ( ) 摘要 : 　本文根据田昭武在中国化学会第一届全国纳米技术与应用会议 2000. 11. 28 ,厦门 特邀 大会报告内容整理而成 : ( ) 1 　微系统技术概述 技术的必要性和前景 2 　发展微系统技术的特殊困难 3 　电化学在微系统技术中的应用 ( ) 　3. 1 　用于复杂 3D图形微加工的约束刻蚀剂层技术 CEL T ( ) (μ ) 　3. 2 　聚焦电泳和微系统在 生物 化学中的应用 TAS 或芯片上实验室 ( ) 　3. 3 　芯片实验室中微流体输运网络的合理选择之一 - 灵巧 Smart 电渗泵 4 　结论 微系统 ;CEET ; 电渗;μ 关键词 : 　 TAS ;芯片上实验室 中图分类号: 　O 646 　　　　　　　　　文献标识码 : 　A 1 　微系统科学技术的必要性和前景 近半世纪以来 ,微电子技术进步已推动了信息产业的迅猛发展 ,从而导致人类社会生活巨 ( 大变革. 进步的特征表现为器件大幅度减小 资源能源节约 ,适应微小空间 ,低成本 ,高产出 ,市 ) ( ) 场巨大 ,环境污染降低等等 而性能提高 信息质量提高 ,信息处理传递速度提高等等 . 对微电子技术而言 ,其结构细节已经达到亚微米并且向纳米尺度继续发展. 也可以说 , 已 经超越了微系统的阶段. 但是人类社会生活对微系统的要求不只是信息处理 ,其道理正如只有头脑和神经还不够 ( μ μ ) 构成一个人. 微系统指的是体积微小 尺寸一般在 0. 1 m 至 100 m 之间 、集微型传感器、微 型执行器以及相关的信息处理器于一体的微型系统. 如果把微系统各要素的功能比拟作人体 器官 ,那么 ,微驱动器犹如四肢 ,用以执行命令 ;微传感器是五官 ,用以获取信息 ;微信息处理器 ( 好比头脑 ,用以发布命令 接收微传感器的信息、处理、判断并反馈信息或向微驱动器发布命 ) 令 . 由此可知,微驱动器、微传感器和微信息处理器三者匹配是基本条件 ,符合这样基本条件 的微系统具有机器人的禀赋 ,微型卫星、微型飞机、微型手术机器人、芯片化生物化学实验室以 收稿日期 : 　通讯联系人 ·2 ·